パッシブゲージ ペニング真空計センサ CPG35K
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
パッシブゲージは計測部分からドライバー電子機器が完全に分離しています。
ゲージヘッドには物理的な計測に必要な部品だけのシステムが搭載され、他の全ての電子機器はコントローラに含まれています。
ペニング真空計センサは4モデル利用できます。
4タイプすべて測定範囲は1〜10-7Paで、空気突入と振動に影響されません。
これらのパッシブセンサにはペニングによる冷陰極イオン化技術を用いています。
カソードプレートは交換可能です。またチタンカソードによりイグニション特性が向上しています。
CPG35KBは200℃まで加熱可能です。
仕様
| 圧力範囲 | 1〜10-7Pa |
| 精度 | 10-2〜10-6Pa±30％ |
| 最大過圧 | 10bar |
| 温度範囲 | |
| 運転 | +5〜+80℃ |
| 保管 | -20〜+70℃ |
| ベークアウト温度 | 標準80℃加熱式ゲージは200℃まで |
| 放射線耐性 | 106Grays |