真空ボールバルブ IBVシリーズ
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
ボールバルブは、迅速なアクションとフル・ボア排気が必要なアプリケーションに最適です。PTFEシートと共にSUS316Lステンレス鋼で製造されたこのバルブは、多様な真空デューティで高い強度を発揮します。
特長
- 便利なNW16、25、40、50サイズ
- 容易に使用できる手動操作
- フル・ボア構造で高いコンダクタンス
- 「ダーティ」システムに耐える堅牢な構造
- 耐腐蝕構造
- 高い気密性、リークレートは1×10-7 Pa・m3/sec以下
- 7×105 Pa〜10-4 Pa広範な使用範囲
仕様
| 型番 | IBV16MKS | IBV25MKS | IBV40MKS | IBV50MKS |
| フランジ | NW16 | NW25 | NW40 | NW50 |
| コンダクタンス | 5.3 L/s | 15.9 L/s | 46.5 L/s | 86.0 L/s |
| 圧力定格 | 0.7 MPa | |||
| 重量 | 1.2 kg | 1.7 kg | 3.1 kg | 4.3 kg |
| 接ガス部材 | バルブボディ | AISI 316L |
| ボール | AISI 316L | |
| シール | PTFE | |
| リークレート | 1×10-7 Pa・m3/sec | |
| 周囲温度範囲 | 5〜65℃ | |
| MTBF | 30,000回 | |