ニードルバルブ LV10K
メーカー名:エドワーズ株式会社
製品情報
概要
LV10Kニードルバルブは、真空チャンバへ供給されるガスの微調整を行うか、真空システム内において制御圧の漏れを調節する役割を果たし、10-3 Paまでの通気に適します。パイプラインまたはパネルへの取り付けが適当です。
仕様
材質 | ボディ | アルミニウム(HE30) |
シート | 真鍮(BS2784 C2112) | |
ニードル | ステンレス鋼 | |
フィルタ | 真鍮(BS249) | |
最大流量 | 0.1 L/s | |
最大流入圧 | 0.21 MPa | |
リークレート | 10-8 Pa・m3/sec | |
真空接続 | NW10 | |
重量 | 138g |