磁気浮上式ターボ分子ポンプ STP
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
長時間の安定稼働、潤滑剤等の不純物を使用しないクリーンな真空環境、最低限のメンテナンス、および低振動が要求されるアプリケーションに最適です。
多軸磁気ベアリングシステムを使用してローターを浮上させるため、チャンバー内汚染のリスクがなく、安心してご使用いただけます。
特長
- 低振動
磁気浮上式のため、ローター回転時に摩擦接触がなく、極めて低振動で経時変化による影響を受けません。
- オイルフリー
磁気ベアリングの使用により潤滑剤が不要です。
- 自動バランシングシステム
Edwards独自開発の5軸制御技術によりロータのバランス不良を自動で補正します。
- メンテナンスフリー
磁気浮上式のため、ローターは浮上した状態で回転します。機械的な接触がないため、定期ベアリング交換が不要です。
- 耐腐食性
塩素系・フッ素系等の反応性ガスをご使用の場合に、ローターへの耐食性コーティングとポンプの窒素パージ機能を備えた耐食性仕様を選択可能です。化学実験用途に最適です。
仕様
（1）エドワーズ社測定方法による。
その他詳細はお問合せください。
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