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製品紹介

ターボ分子ポンプステーション T-Station85

メーカー名：エドワーズ株式会社

製品情報

概要

nEXT85Hターボ分子ポンプとドライダイヤフラムポンプまたはロータリーポンプを組み合わせて、シンプルなコントローラを搭載した低コストでコンパクトなターボポンプステーションです。47〜84L/sの排気速度を実現しています。

T-Station85には、新しいTAG（Turbo and Active Guege）コントローラが標準で装備されており、ボタン一つでシステムの始動と停止を行うことができます。EDWARDSのアクティブゲージとベントバルブを制御可能で、到達圧力（ゲージ取付時）またはタイマーでターボポンプの遅延始動を制御できます。

特長
  • カスタムコントローラの特徴
    • 専用のボタン一つでポンプを起動/停止
    • 読みやすく正確なディスプレイ
    • TAV5ベントバルブを取り付けた場合、ベントモードを選択可能。自動ベントを行うため、ユーザー操作は不要。
  • 高性能バックアップポンプ
    高性能のバッキングポンプとしてE2M1.5とXDD1が用意されており、油回転ポンプまたは完全にドライなダイヤフラムポンプを選択できます。
  • 薄型でコンパクト
    基盤にはゴム足と持ち運び用の切り欠けがあり、コンパクトでありながら安定した設計で倒れる心配もありません。
  • ユーザー保守が可能
    nEXT85ターボ分子ポンプ、XXD1ドライダイヤフラムポンプおよびE2M1.5バッキングポンプは全てユーザー保守が可能です。
  • 内蔵エアクーラー
    内部電源とポンプ/コントローラを冷却し、複数のファンを設置することなく静音運転を可能にします。
  • 頑丈なメタルフレーム
    フレームは全て金属製で、亀裂や破損が起きない頑丈な設計です。
  • インフレットフランジの選択肢
    用途に合わせてNW40、ISO63、またはCF63インフレットフランジを選択できます。
仕様
排気速度（N2）NW4047L/s
ISO/CF6384L/s
圧縮比（N2）ー＞1×1011
バッキングポンプ速度
50Hz（60Hz）		E2M1.5(TS85W)1.6m3/h(2.0m3/h)
XDD1(TS85D)　1.2m3/h(1.5m3/h)
到達真空（CF）ー<5×10-8(Pa)
インレット接続ーNW40,ISO63またはCF63
排気接続E2M1.5(TS85W)外径11㎜ノズルまたは3/8インチBSP
XDD1(TS85D)　サイレンサ付き または1/8インチBSP
重量E2M1.5 system (TS85W)最大21kg
XDD1 system (TS85D)　最大17kg
到達時騒音レベルー56dB（A）
リーク量ー<1×10-4 Pa L/s
動作温度範囲ー12〜40℃
寸法図

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