磁気軸受型ターボ分子ポンプ TMPシリーズ
メーカー名：株式会社島津製作所
製品情報
概要
高真空プロセスから大流量排気プロセスまで様々な用途に対応するポンプを提供します。環境に配慮した省エネ・コンパクト設計と、電源一体形ポンプにより装置設計の自由度向上に貢献します。
仕様
- 電源別置き形
- ネットワーク接続対応
- 各種モニタ機能（電源部）
- カップリングフリー
| ターボ分子ポンプ形式 | TMP-203LM | TMP-303LM | TMP-403LM | |
| 対応電源装置 | EI-S04M | |||
| 吸気口側フランジ | VG100 ICF152 ISO100B ISO100C | VG150 ICF203 ISO160B ISO160C | ||
| 排気口側フランジ | KF25 | |||
| 排気速度*1 | N2 | 190L/s | 320L/s | 420L/s |
| H2 | 120L/s | 320L/s | 340L/s | |
| 規定回転数 | 50000 rpm | 45000rpm | ||
| 質量 | 9kg | 14kg | ||
*1）保護ネットなしの場合の値
| 電源装置形式 | EI-S04M | |||
| 対応ポンプ | TMP-203LM | TMP-303LM | TMP-403LM | |
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC100〜120V±10％（50/60Hz±2Hz） 単相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） | ||
| 所用電力 | 450VA | 550VA | ||
| 質量 | 8kg | |||
| ターボ分子ポンプ形式 | TMP-803LM(0) | TMP-1003LM | TMP-1003LM(0) | TMP-1503LM | |
| 対応電源装置 | EI-R04M | ||||
| 吸気口側フランジ | VG150 ICF203 ISO160B | VG200 ICF253 ISO200B | VG250 ICF305 ISO250B | ||
| 排気口側フランジ | KF40 | ||||
| 排気速度*1 | N2 | 800L/s | 1080L/s | 1300L/s | 1500L/s |
| H2 | 700L/s | 790L/s | 750L/s | 800L/s | |
| 規定回転数 | 35000rpm | 30300rpm | |||
| 質量 | 33kg | 32kg | 39kg | 42kg | |
*1）保護ネットなしの場合の値
| 電源装置形式 | EI-R04M | ||||
| 対応ポンプ | TMP-803LM(0) | TMP-1003LM | TMP-1003LM(0) | TMP-1503LM | |
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||
| 所用電力 | 1.0kVA | ||||
| 質量 | 8kg | ||||
| ターボ分子ポンプ形式 | TMP-2404LMC | TMP-2804LMC | ||
| 対応電源装置 | EI-R04M | |||
| 吸気口側フランジ | VG250 ISO250B | |||
| 排気口側フランジ | KF40 | |||
| 排気速度*1 | N2 | 2100L/s | [VG250]2800L/s | [VG250B]2500L/s |
| H2 | 1770L/s | 2100L/s | 2000L/s | |
| 規定回転数 | 27000rpm | 27600rpm | ||
| 質量 | 70kg | 84kg | ||
*1）保護ネットなしの場合の値
| 電源装置形式 | EI-R04M | |||
| 対応ポンプ | TMP-2404LMC | TMP-2804LMC | ||
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） | ||
| 所用電力 | 1.5kVA | |||
| 質量 | 8kg | |||
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| ターボ分子ポンプ形式 | TMP-3304LMC(0) | TMP-3804LMC | TMP-4304LMC | ||
| 対応電源装置 | EI-R04M | ||||
| 吸気口側フランジ | VG300 VG350 ISO320B | VG300 ISO320B | VG350 | ||
| 排気口側フランジ | KF40 | ||||
| 排気速度*1 | N2 | 3200L/s | 3800L/s | 4000L/s | 4400L/s |
| H2 | 2200L/s | 2500L/s | 2600L/s | ||
| 規定回転数 | 27600rpm | 24000rpm | |||
| 質量 | 84kg | 115kg | 105kg | ||
*1）保護ネットなしの場合の値
| 電源装置形式 | EI-R04M | ||||
| 対応ポンプ | TMP-3304LMC(0) | TMP-3804LMC | TMP-4304LMC | ||
| 入力電源 | 電圧 | 単相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||
| 所用電力 | 1.5kVA | ||||
| 質量 | 8kg | ||||
※その他詳細はお問合せください。