複合真空計 TG301CD
メーカー名：株式会社ミラプロ
製品情報
概要
複合真空計 TG301CD は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので汚染環境でも感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。
特長
- コンパクト設計
- 視認性の良いシンプルなLED表示
- 本体のみで容易に各種設定が可能
大気圧調整・感度調整・セットポイント
ガス種・デガス ON・タフモード設定…等 - B-Aゲージ内のグリッド及びコレクタ電極を加熱する加熱式電極汚染防止機能付
(タフモード) - 急激な圧力上昇時にB-AゲージのフィラメントをOff にする機能付
(B-A ゲージ用フィラメント保護機能) - 温度センサー付き
(ピラニ領域での温度補正機能) - ピラニの自動ゼロ点調整機能付
- 大気圧での精度：±5%
- 最大測定圧力:1.2×10+5 Pa
- 専用アプリでデータの管理と制御が可能
仕様
| 測定範囲 | 1×10-8 Pa 〜 1.2×10+5 Pa ピラニゲージ：0.1 Pa ~ 1.2×10+5 Pa B-Aタフゲージ：1×10-8 Pa ~ 10Pa |
| 入力電源 | DC24V 0.8A |
| 消費電力 | 最大消費電力：19.2W(B-Aタフゲージ起動時) 測定時消費電力：6W（B-Aタフゲージ測定・タフモードON時） |
| 測定フィラメント | ピラニゲージ：ニッケル 1 本 B-A タフゲージ：イットリアコート・イリジウム 1 本 |
| エミッション電流 | 42μA、2.5mA自動切換え |
| タフモード | B-A測定子のグリッドとコレクタを加熱しながら計測し、電極汚染を防止する機能 OFF、Low、Mid、Hiの変更可能 |
| デガスモード | グリッドとコレクタを 900°Cに通電加熱 （2分間） |
| 出力信号 | アナログ圧力 0-10V ×1ch セットポイント接点 ×2ch アラーム接点 ×1ch |
| 入出力コネクタ | Dsub15ピン（電源、信号共用） |
| 外部通信 | RS232C |
| 接続フランジ | NW25、ICF70 |
| 重量 | 約550g |
| オプション | 表示器（SGD100 又は TGD100） |