コールドカソードタフゲージ CCTG200C
メーカー名:株式会社ミラプロ
製品情報
概要
CCTGは従来にない全く新しい正マグネトロン型の冷陰極真空計です。
仕様
形状 | トランスミッタタイプ(LED表示付) |
圧力測定範囲(N2) | 1x10-8Pa ~0.1Pa (ICF70フランジ使用時) |
圧力単位 | Pa、Torr、mbar |
タフモード | 測定時カソード電極を通電加熱 (温度を3段階に設定可) |
デガス | カソードを約700℃にフラッシュ加熱 |
インターフェイス | RS232C 表示器(TGD100)、PCに接続可 |
入力信号 | 測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF |
出力信号 | セットポイント接点×2ch、アラーム接点 |
圧力信号出力 | 0-10V×2ch |
入力動作 | DC24V、1A |
バイアス電圧 | 3kV〜500V 最適制御 |
シール部材質 | バイトンシール(NW25) メタルOリングシール(ICF70) |
接続フランジ | NW25(NW25KF) ICF70(NW40CF) |