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製品紹介

コールドカソードタフゲージ CCTG200C

CCTG (Cold Cathode Tough Gauge)シリーズ

CCTGは従来にない全く新しい正マグネトロン型の冷陰極真空計です。

製品情報

仕様
形状トランスミッタタイプ(LED表示付)
圧力測定範囲(N2)1x10-8Pa ~0.1Pa (ICF70フランジ使用時)
圧力単位Pa、Torr、mbar
タフモード測定時カソード電極を通電加熱(温度を3段階に設定可)
デガスカソードを約700℃にフラッシュ加熱
インターフェイスRS232C
表示器(TGD100)、PCに接続可
入力信号測定開始/停止
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
圧力信号出力0-10V×2ch
入力動作DC24V、1A
バイアス電圧3kV〜500V最適制御
シール部材質バイトンシール(NW25)
メタルOリングシール(ICF70)
接続フランジNW25、ICF70
CCTG (Cold Cathode)シリーズ

タフゲージ TG200

タフゲージTG201CG

コールドカソードタフゲージCCTG110S

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