シャッター機構 株式会社アールデックで取り扱っている製品詳細ページになります。

製品情報

特長

• セルのフランジにコンパクトにマウントされたシャッター機構
• 手動式、圧空式

真空内材質		Ta
ルツボとシャッター板の間隔		6mm (その他についてはご相談下さい)
ニューマチックアクチュエーター	開閉スピード	50～100msec
	シャッターの回転角度	90° (但し、10～180°に調整可能)
	供給圧力	35～75psi
	圧空配管接続口	1/4インチ

水冷機構

• VG社製MBE装置用には標準搭載