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製品紹介

シャッター機構

製品情報

特長
  • セルのフランジにコンパクトにマウントされたシャッター機構
  • 手動式、圧空式
真空内材質Ta
ルツボとシャッター板の間隔6mm (その他についてはご相談下さい)
ニューマチックアクチュエーター開閉スピード50~100msec
シャッターの回転角度90° (但し、10~180°に調整可能)
供給圧力35~75psi
圧空配管接続口1/4インチ

水冷機構

  • VG社製MBE装置用には標準搭載

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