Products

製品紹介

窒素プラズマソース

周期表・蒸着材料から選ぶ

画像に alt 属性が指定されていません。ファイル名: 1-7402.jpg
Nitrogen optical emission spectrum of the Veeco UNI-Bulb RF Plasma Source. Data courtesy of J.F. Schetzina, North Carolina State University.

製品情報

特長
  • 一体型PBNインレットチューブを使用しております。
  • ビーム中のイオンは僅かです。
  • GaN, 窒化化合物, Nドーピング成長に最適です。
  • H2にも対応可能です。
対象材料
N2H2
仕様
MBE装置全ての研究用・生産用装置に使用可能
供給ガスN2、H2
最小取付フランジICF114 (4.5インチ)
真空内長さ/直径318mm(12.5インチ)/ 54mm(2.125インチ)
外径寸法図ご相談下さい
供給ガス接続口ICF34 (1.33インチ) 2ヶ所
プラズマバルブ無酸素、全PBNプラズマ放電容器・交換可能アパーチャープレート
アパーチャープレート交換可能なアパーチャープレートはCリングにて固定
アパーチャープレートは穴の配置と応用が最大限利用可能
(大きな成長、小さい成長、ドーピング等)
加熱誘導連結式
水冷RFコイル・パワーフィードスルー 350mL/min(40psi)
イオンディフレクタプレートオプション
電源600W RF(13.56MHz)、7mケーブル
オートチューナーユニット203W × 102H × 305D
コントローラ241W × 88H × 331D

PAGETOP