窒素プラズマソース
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- 一体型PBNインレットチューブを使用しております。
- ビーム中のイオンは僅かです。
- GaN, 窒化化合物, Nドーピング成長に最適です。
- H2にも対応可能です。
対象材料
| N2 | H2 |
仕様
| MBE装置 | 全ての研究用・生産用装置に使用可能 | |
| 供給ガス | N2、H2 | |
| 最小取付フランジ | ICF114 （4.5インチ） | |
| 真空内長さ/直径 | 318mm（12.5インチ）/ 54ｍｍ（2.125インチ） | |
| 外径寸法図 | ご相談下さい | |
| 供給ガス接続口 | ICF34 （1.33インチ） 2ヶ所 | |
| プラズマバルブ | 無酸素、全PBNプラズマ放電容器・交換可能アパーチャープレート | |
| アパーチャープレート | 交換可能なアパーチャープレートはCリングにて固定 アパーチャープレートは穴の配置と応用が最大限利用可能 （大きな成長、小さい成長、ドーピング等） （お客様のチャンバー仕様に合わせてカスタム設計） | |
| 加熱 | 誘導連結式 | |
| 水冷 | RFコイル・パワーフィードスルー 350mL/min（40psi） | |
| イオンディフレクタプレート | オプション | |
| 電源 | 600W RF（13.56MHz)、7mケーブル | |
| オートチューナー | ユニット | 203W × 102H × 305D |
| コントローラ | 241W × 88H × 331D | |