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製品紹介

RHEEDシミュレーションソフトウェア kSA RHEEDSim

メーカー名：k-Space Associates, Inc.

製品情報

特徴

CIF(Crystallographic Information File) データを用いて、任意の電子ビームパラメータでのRHEED パターン
シミュレーションができます。

主な機能
  • ３D 結晶成長構造の可視化①
  • 電子ビームの入射角度、加速電圧、面内回転、結晶方位面、サンプルからスクリーンまでの距離、等
    色々なパラメータ値を変更しての２D 回折像の確認および表面再構成の影響・結果を近似表示②④
  • 測定で得られた回折像をシミュレーション画像と重ね合わせて差異を比較③
  • 成膜中の結晶成長による輝度振動のシミュレーション動画の生成( 成長率を変化させての確認)⑤
  • パラメータ値のStart 値とEnd 値をセットしてのシミュレーション( 例：ビーム入射角度を０～３°)⑥
  • スタンドアローン又はkSA400 アドオン用に購入可能
読み込んだSi(100) のCIF
(RHEEDSim プリセットデータから)
パラメータ値変更ダイアログ

本ソフトウェアで利用可能なシミュレーション用データ
  • プリセットデータ( ソフトウェア内にあるデータ)
  • ユーザ作成CIF データ又はウェブ等で公開されているCIF データ
  • 回折画像データ(tiff､bmp、jpg、等)
２つの回折画像を重ね合わせた例　
—　MgO(001) vs MgO(001)
( 緑がシミュレーション像で、赤が測定で
得られた実際の像、オレンジが重なっている箇所)
上記データにユーザー独自のファイルを追加する
ことが出来ます。
CIF 定義例　YBa₂Cu₃O₆.₁₈
( イットリウムバリウムキュプレイト)

例えば結晶方位面を(110) と入力し、ADD ボタンをクリックし、名前を決めてGenerate Preset ボタンを
押すことで、プリセットデータに加えることが出来ます。プリセットデータに加えたらRHEED 像を表示
させたり、その像を見ながらビーム入射角を変えたりすることも可能です。結晶方位面を変えるには上記の
定義画面にて行う必要があります。

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