コールドリップSUMOセル
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
周期表・蒸着材料から選ぶ
製品情報
特長
- デュアルフィラメント構造により、リップ付近を低めに温度設定することで
Alの吹き出しを防ぐことができます。
もし吹き出しがあった場合でも幅の広いルツボリップによりセルへのダメージを少なくすることができます。 - Al専用のセルです。
対象材料
仕様
| 200g | 300g | 400g |
| ルツボ形状 | 全てのルツボに拡大リップ使用 |
| マウントフランジ | 標準 | ICF70 | ICF114 | ICF114 |
| 水冷 | ICF114 | ICF152 |
| フィラメントタイプ | 2つのフィラメントに対して個別のコントロールができるデュアルTaワイヤー |
| 熱電対タイプ | 2箇所、タイプC (W/Re 5/26%) |
| 真空内長 | 203～381mm | 254～381mm | 229～381mm |
| 真空内径 | 標準 | 36mm | 41mm | 55mm |
| 水冷 | 56mm | 69mm |
| 操作温度 | 750-1200℃ |
| 最大脱ガス温度 | 1600℃ (フィラメント2本使用時) |
| 最大消費電力 | 中心部 | 15A / 900W | 15A / 675W | 14A / 980W |
| 先端部 | 15A / 825W | 17A / 765W | 15A / 675W |
| 水冷機構 | VG仕様は標準、その他はオプション |
| 電源 | 電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要 |
