水素アトムソース
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- 高いクラッキング効果があります。
- 140台以上の実績があります。
仕様
| MBE装置 | 全ての研究用・生産用装置に使用可能 |
| 供給ガス | H2 |
| 最小取り付けフランジ | ICF70(クラッキング部水冷オプション時はICF114) |
| 真空内長さ | 343mm |
| 真空内の直径 | 25.4mm |
| 熱電対 | Type C(W/Re 5/26%) |
| フィラメントタイプ | W (お客様にて交換可) |
| 供給ガス接続口 | 標準：4VCR オプション：ICF34 |
| 操作温度 | 1800～2200℃ |
| 最高脱ガス温度 | 2500℃ |
| 水冷 | マウントフランジ部は標準 クラッキング部はオプション |
| 電源 | 電源と温度コントローラ各1台のユニットが必要 |