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製品紹介

デュアルフィラメントセル

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • ルツボ先端部の温度を高めに設定することでコンタミの原因となる凝縮物を防ぎ、
    膜の欠陥を抑える事ができます
対象材料
BaF2CaF2InMn
CuGaZnSSc
仕様
容量16 cc20cc25cc30cc35cc40cc
充填材料Ga、In、その他蒸気圧が中位で、
蒸発及び昇華温度が750~1300℃の材料を推奨。
Alはホットリップヒーティングの使用ができません。
ルツボ形状コニカルシリンダーコニカルシリンダー
フィラメントタイプ2つのフィラメントに対して個別コントロールができるデュアルTaワイヤー
マウントフランジ標準ICF70ICF114ICF70
水冷ICF114
熱電対タイプ2箇所、タイプC (W/Re 5/26%)
真空内長203~381mm (8~19インチ)
操作温度750~1300℃
最大脱ガス温度1600℃
最大消費電力17A/765W15A/525W、17A/595W19.5A/878W15A/750W、12A/660W
水冷機構VG仕様は標準、その他はオプション
電源電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要

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