デュアルフィラメントセル
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- ルツボ先端部の温度を高めに設定することでコンタミの原因となる凝縮物を防ぎ、
膜の欠陥を抑える事ができます
対象材料
| BaF2 | CaF2 | In | Mn |
| Cu | Ga | ZnS | Sc |
仕様
| 容量 | 16 cc | 20cc | 25cc | 30cc | 35cc | 40cc | |
| 充填材料 | Ga、In、その他蒸気圧が中位で、 蒸発及び昇華温度が750～1300℃の材料を推奨。 Alはホットリップヒーティングの使用ができません。 | ||||||
| ルツボ形状 | コニカル | シリンダー | コニカル | シリンダー | |||
| フィラメントタイプ | 2つのフィラメントに対して個別コントロールができるデュアルTaワイヤー | ||||||
| マウントフランジ | 標準 | ICF70 | ICF114 | ICF70 | |||
| 水冷 | ICF114 | ||||||
| 熱電対タイプ | 2箇所、タイプC (W/Re 5/26%) | ||||||
| 真空内長 | 203～381mm (8~19インチ) | ||||||
| 操作温度 | 750～1300℃ | ||||||
| 最大脱ガス温度 | 1600℃ | ||||||
| 最大消費電力 | 17A/765W | 15A/525W、17A/595W | 19.5A/878W | 15A/750W、12A/660W | |||
| 水冷機構 | VG仕様は標準、その他はオプション | ||||||
| 電源 | 電源と温度コントローラ各2台のユニットが必要 | ||||||