ホットリップSUMOセル
メーカー名：Veeco Instruments Inc.
製品情報
特長
- シリンダー型の特長である材料を多く充填できること、及びコニカル型の特長である均一性が良いことの
両方の利点を兼ね備えており、長時間に亘り安定したフラックスの供給ができます。 - デュアルフィラメントタイプなので先端部の温度を高めに設定することでコンタミを防ぐことができます。
- Ga, Inに最適なセルです。
- 酸化ガリウム成膜用
対象材料
| Ag | BaF2 | In | Mn | CaF2 |
| Cu | Ga | Ge | Sc | ZnS |
仕様
| 200g | 300g | 350g | 400g | ||
| ルツボ形状 |  |  |  |  | |
| マウントフランジ | 標準 | ICF70 | ICF114 | ||
| 水冷 | ICF114 | ICF114 | |||
| フィラメントタイプ | 2つのフィラメントに対して個別のコントロールができるデュアルTaワイヤー | ||||
| 熱電対タイプ | 2箇所、タイプC (W/Re 5/26%) | ||||
| 真空内長 | 203～381mm | 254～381mm | 229～381mm | ||
| 真空内径 | 標準 | 36mm | 41mm | 55mm | |
| 水冷 | 56mm | 56mm | 69mm | ||
| 操作温度 | 750-1200℃ | ||||
| 最大脱ガス温度 | 1600℃ (フィラメント2本使用時) | ||||
| 最大消費電力 | 中心部 | 15A / 900W | 17A / 850W | 9.5A / 532W | 14A / 980W |
| 先端部 | 15A / 825W | 19.5A / 975W | 10.3A / 714W | 15A / 675W | |
| 水冷機構 | VG仕様は標準、その他はオプション | ||||
| 電源 | 電源と温度コントローラ各2台のユニットか必要 | ||||