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製品紹介

ホットリップSUMOセル

周期表・蒸着材料から選ぶ

製品情報

特長
  • シリンダー型の特長である材料を多く充填できること、及びコニカル型の特長である均一性が良いことの
    両方の利点を兼ね備えており、長時間に亘り安定したフラックスの供給ができます。
  • デュアルフィラメントタイプなので先端部の温度を高めに設定することでコンタミを防ぐことができます。
  • Ga, Inに最適なセルです。
  • 酸化ガリウム成膜用
対象材料
AgBaF2InMnCaF2
CuGaGeScZnS
仕様
200g300g350g400g
ルツボ形状
マウントフランジ標準ICF70ICF114
水冷ICF114ICF114
フィラメントタイプ2つのフィラメントに対して個別のコントロールができるデュアルTaワイヤー
熱電対タイプ2箇所、タイプC (W/Re 5/26%)
真空内長203~381mm254~381mm229~381mm
真空内径標準36mm41mm55mm
水冷56mm56mm69mm
操作温度750-1200℃
最大脱ガス温度1600℃ (フィラメント2本使用時)
最大消費電力中心部15A / 900W17A / 850W9.5A / 532W14A / 980W
先端部15A / 825W19.5A / 975W10.3A / 714W15A / 675W
水冷機構VG仕様は標準、その他はオプション
電源電源と温度コントローラ各2台のユニットか必要

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