ミニチュアイオンゲージ IG-10
メーカー名：東京電子株式会社
製品情報
特長
- センサー・回路一体型のトランスデューサー型B-Aゲージ
- フィラメント2本を標準装備
- 断線を防ぐ保護機能付き
仕様
| 測定範囲 | 1.33×10-7～6.65Pa |
| 表示 | デジタル表示 (仮数部3桁、指数部2桁) |
| フィラメント材質 | イットリアコートイリジウム |
| デガス | 3(W) ボンバード方式 |
| エミッション電流 | 4（mA） 推奨圧力範囲：1.33×10-7 ～ 1.0×10-2(Pa) |
| 切替方式 | 100（μA） 推奨圧力範囲：1.0×10-4 ～ 6.65(Pa) |
| 外部制御 | FIL ON/OFF・デガスON/OFF・エミッション切替 |
| ガス種設定 | N2・Air・O2・CO2・Ar・He等 16種類 |
| アナログ出力 | 0～9(VDC) [ログリニア]：1(V)/1桁 |
| 使用温度 | 温度0～40℃ 湿度95%以下 (結露せぬこと) |
| ベーキング温度 | 200℃ (回路部を取り外すこと) |
| 電源 | DC20～28V 14[W] |
| 外径寸法 | 70(W)×82(H)×68(W) mm (センサー部は除く) |
| フランジ | NW25、ICF70 |
| 通信機能 | RS-485 |
| セットポイント | 1点 |