高真空ゲートバルブ Series 11.1
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
- メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空)
特長
- ボディ材質：ステンレス
- ベローズ軸シール
- DN63-200 Valucanizedシール
- VATLOCK方式による確実なロック
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.16MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.16MPa | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30hPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 200,000 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦150℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 圧空アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 電磁弁 | ≦50℃ | |
| リミットスイッチ | ≦50℃ | |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | ベローズ | |
| 取付方向 | 自由 | |
製品一覧
- ICF114高真空ゲートバルブ (手動式)
型式：11136-CE01
- ICF152高真空ゲートバルブ (手動式)
型式：11140-CE01
- ICF203高真空ゲートバルブ (手動式)
型式：11144-CE01
- ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：11136-CE44
- ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：11140-CE44
- ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：11144-CE44