ワイドレンジ電離真空計 M-833HG
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ（オプション）のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空～超高真空装置搭載に最適です。
特長
- 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
- セットポイントを2点標準装備
- 最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
（注記：GP-IBオプションには未対応） - CEマーキング、RoHSに対応
用途
- 自動化真空装置の圧力計測
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定
仕様
| 測定球 | ミニチュアゲージ MG-2 シリーズ | |
| 圧力表示範囲 | 0.1×10-7～1.32×101Pa *1 | |
| 圧力表示 | 測定レンジ自動切替 | |
| セットポイント | 2点標準装備 (オープンコレクタ) | |
| D/A 出力 | 0 ～ 10V：仮数部出力、指数部出力 0 ～ 11V：複合出力又はLOG出力 | |
| アナログ出力 (エレクトロメータ出力) | APCモード設定時 (0.1 ～ 2.5V) ノーマルモード設定時 (0.1 ～ 1.6V) | |
| 外部制御機能 (リモート操作) | INPUT | フィラメント ON / OFF デガス ON / OFF 等6種類の外部制御機能 |
| OUTPUT | 6種類のステータス信号出力 | |
| 特殊機能 | APC対応：レンジホールド機能 エレクトロメータ出力機能 | |
| 外形寸法（㎜）・質量 | H99×W209×D330、1.9kg（オプションボード未装着時） | |
| 所要電力 | 100～240VAC *2 100VA以下、50／60Hz | |
| エミッション電流 | 10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定 | |
| ガス出し | グリッド通電加熱方式 | |
| フィラメント切替 | キー及びリモートI/O 操作 | |
| フィラメント保護 | オーバーレンジ設定値またはエミッション電流±50%の変動 | |
| 標準構成 | 真空計本体 (測定球及びケーブルは構成品に含まれません。) | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS | |
*1）測定範囲は測定球MG-2の項をご参照ください。
*2）M-833HGに付属されるACケーブルは100V仕様です。200Vでご使用される場合は別途ご相談ください。