オールメタルシールコントロールバルブ 148J メーカー名:日本エム・ケー・エス株式会社, 圧力コントロールシステム(アップストリーム制御) 製品情報 特長 F.S.レンジ:10sccm〜20slm オールメタルシール流量比例制御バルブ 運転温度:5〜150℃(温度指定)