スマートヘッド四重極質量分析計 MicroVision2
メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, プロセスモニタ/RGA
製品情報
特長
- 高速でワイドなダイナミックレンジ
- コントローラをアナライザに直接付けるスマートヘッドタイプ
- 汚染に耐性のあるダブルフィルタ
仕様
■アナライザ
| マスレンジ | 100, 200, 300, 1-6 |
| 検出器 | ファラデー又はデュアル(ファラデー/SEM切替) |
| 最大使用圧力 | 1.3×10-2Pa |
| 最小検出分圧 | ファラデー:2×10-9Pa SEM(チャンネルプレート)：5×10-12Pa |
| マス安定 | 定常状態で±0.1amu/8時間 |
| 分解能 | 10％ valley |
| ベークアウト温度 | 250℃、コントローラーを外した状態 |
| 取付フランジ | ICF70コンフラットフランジ |
| イオンソース | オープン |
| イオンソース感度 | 2×10-6A/Pa |
| フィラメント | タングステン 2本(トリアコートオプション可能) |
| マスフィルター | 4ダブル |
■制御部/PC
| コントローラー重量 | 1.7kg |
| 環境 | 10-40℃以下、湿度80％以下(結露無き事こと) |
| LEDステータス表示 | フィラメント1、フィラメント2、電源、通信 |
| エレクトロンエネルギー | 20〜100eV |
| エミッション電流 | 0〜2mA |
| その他の機能 | フィラメント保護外部トリップポイント |
| ソフトウェア | -EasyViewTM |
| ウェブサーバアプレット (IE5.0/5.5/6.0又はNetscape7.0で動作) | -ASCIIプロトコルサーバ |
| 電力 | 24VDC、2.0A (電源供給モジュール100-240VAC付属) |
| 通信 I/F | 10/100base-T Ethernet |