触針式プロファイリングシステム DektakXT-E, S, A
メーカー名：ブルカージャパン株式会社, ナノ表面計測事業部製品
製品情報
特長
シングルアーチ設計とスマート・エレクトロニクスにより測定再現性5Åを実現し、ダイレクトドライブ・ステージは測定時間を40%向上させます。64ビットコンピュータ上で動作するVision64は従来の10倍の高速データ解析を行います。またオールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドは、ヘッド交換無しで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現します。
仕様
| 型名 | DektakXT-E (Entry) | DektakXT-S (Standard) | DektakXT-A (Automation) |
| 測定方法 | 触針式プロファイル | ||
| 測定能力(2D) | 2D表面プロファイル | ||
| 測定能力(3D) | – | – | 3Dプロファイル |
| サンプル観察 | 0.275〜2.2㎜（1〜8倍 自動デジタルズーム機能付） | ||
| スタイラスセンサー | 低慣性センサー（LIS3センサー） | ||
| 触圧範囲 | 1〜15mg（LIS3センサー） | ||
| 抵触圧オプション | 0.03〜15mg（N-Lite+オプション） | ||
| スタイラスオプション | 先端曲率（50nm,2μm,2.5μm,5μm,12.5μm,25μm） | ||
| サンプルステージ(X/Y) | 手動100㎜ | 手動100㎜ | 自動150㎜ |
| サンプルステージ(R-θ) | – | 手動360度 | 自動360度 |
| 対応サンプルチャック | – | 2〜3インチウエハ用 | |
| – | 4〜6インチウエハ用 | ||
| – | 8インチウエハ用 | ||
| 2インチ円形セラミックバキュームチャック | |||
| 6インチPV用バキュームチャック | |||
| コンピュータ−システム | 64Bitマルチコア・パラレルプロセッサ,Windows10対応 ワイド型液晶モニタ装備 | ||
| ソフトウエア (オンライン) | Vision64オペレーション＆解析ソフトウエア | ||
| Vision64オフライン解析ソフトウエア | |||
| ソフトウエア (オフライン) | 粗さ・段差・ヒストグラム・ベアリングカーブ・ストレス測定・マイクロフォーム・自動パターン認識・タベース管理・プロダクションインターフェース・その他 | ||
| スキャン長 | 55㎜ | ||
| ステッチング対応 | – | – | 最大200㎜ |
| スキャン毎の 測定ポイント | 最大120,000ポイント/ライン | ||
| 最大サンプルの高さ | 50㎜ | ||
| 最大搭載試料サイズ | 100×100㎜ | 200㎜Φ | 200㎜Φ |
| 段差測定再現性 | 1σ≦4Å（1μm以下段差30回連続測定のσ値,12.5μmスタイラス使用） | ||
| 高さ測定範囲(最大) | 1㎜ | ||
| 高さ分解能 | 1Å（6.5μm 測定レンジ選択時） | ||
| 入力電源 | 100-240VAC,50-60Hz | ||
| 温度範囲 | 20-25℃ | ||
| 湿度範囲 | ≦80%(結露無きこと) | ||
| システム重量 | 本体：34Kg エンクロージャー：5Kg | ||
| システム寸法 | 本体寸法：455㎜W×550㎜D×370㎜H エンクロージャー：585㎜W×574㎜D×455㎜H | ||
| 防振台 | 卓上型空気ばね式・テーブル型空気ばね式・卓上型アクティブ型 等 | ||