高圧縮型ターボ分子ポンプ TMP-B70
メーカー名：株式会社島津製作所
製品情報
特長
- 軸受機構と制御部の最適化により、低ランニングコストを実現
- 高い水素圧縮比を実現
- ローカル操作、全方位取付が可能
仕様
注1）冷却水温度：露点以上、5〜25℃、冷却水流量：1.25L/min
注2）ベーキングはICFフランジの強制空冷および水冷仕様時のみ実施可能。
注3）補助ポンプに二段式油回転ポンプ（島津産機システムズ社製）を使用した場合の値。
注4）保護ネット無しの場合の値。保護ネットを使用した場合のN2ガスに対する排気速度は68L/s。
注5）吸気口からの排気ガス流量0mL/minの場合に連続運転可能な値。