スパッタガン ASGシリーズ
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
特長
- 耐熱型のマグネットの使用により、150℃のベーキングが可能です。
- 高真空型(Oリングシール)と超高真空型(ICFフランジ溶接型)が選択出来ます。
- ターゲットの交換が容易に出来る様、ネジ込式ターゲット押えを採用しています。
- 取付フランジをICF114・152にする事で、シャッター機構取付の対応が可能です。※1
- シャッターは回転式、フラップ式の2種類があり、それぞれ自動化の対応が可能です。
- フランジ～ターゲット間距離のカスタム制作もご相談下さい。
上記以外の仕様（ガス導入、カソード部角度調整型）にも対応可能です。
仕様
| 品名 | 型式 | 仕様 |
| φ1″ スパッタガン | ASG-1 | ※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください カソードサイズ：φ36 取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ1″ /t5（※1） Max 磁性材φ1″ /t1 Max ※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。（詳細はご相談下さい） 最大入力：100W(RF/DC) 入力コネクタ：N型 ガイドパイプ径：φ19 冷却水：1L/min以上（φ1/4″ SWL継手） ベーキング：≦150℃ |
| φ1″UHV スパッタガン | ASG-1 -UHV | カソードサイズ：φ36 取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ1″ /t5（※1） Max 磁性材φ1″ /t1 Max ※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。（詳細はご相談下さい） 最大入力：100W(RF/DC) 入力コネクタ：N型 取付フランジ：下記型式の通り 冷却水：1L/min以上（φ1/4″ SWL継手） ベーキング：≦150℃ |
| 型式・バリエーション | 型式：ASG-1[①～③] / ターゲット距離(120～300) ①-UHV/275：UHV標準ICF70 ②-UHV/4S ：UHVシャッター付ICF114 ③-UHV/4 ：UHVシャッター増設可能ICF114 その他特注品、お問い合わせください。 | |
| φ2″ スパッタガン | ASG-2 | ※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください カソードサイズ：φ63 取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ2″ /t5 Max 磁性材φ2″ /t1 Max 最大入力：300W(RF/DC) 入力コネクタ：HN型 ガイドパイプ径：φ19 冷却水：2L/min以上（φ1/4″ SWL継手） ベーキング：≦150℃ |
| φ2″UHV スパッタガン | ASG-2 -UHV | カソードサイズ：φ63 取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ2″ /t5 Max 磁性材φ2″ /t1 Max 最大入力：300W(RF/DC) 入力コネクタ：HN型 取付フランジ：下記型式の通り 冷却水：2L/min以上（φ1/4″ SWL継手） ベーキング：≦150℃ |
| 型式・バリエーション | 型式：ASG-2[①～③] / ターゲット距離(120～300) ①-UHV/4 ：UHV標準ICF114 ②-UHV/6S ：UHVシャッター付ICF152 ③-UHV/6 ：UHVシャッター増設可能ICF152 その他特注品、お問い合わせください。 | |
| φ3″ スパッタガン | ASG-3 | ※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください カソードサイズ：φ95 取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ3″ /t5 Max 磁性材φ3″ /t1 Max 最大入力：500W(RF/DC) 入力コネクタ：HN型 ガイドパイプ径：φ19 冷却水：2L/min以上（φ1/4″ SWL継手） ベーキング：≦150℃ |
| φ3″UHV スパッタガン | ASG-3 -UHV | カソードサイズ：φ95 取付可能ターゲットサイズ：非磁性φ3″ /t5 Max 磁性材φ3″ /t1 Max 最大入力：500W(RF/DC) 入力コネクタ：HN型 取付フランジ：下記型式の通り 冷却水：2L/min以上（φ1/4″ SWL継手） ベーキング：≦150℃ |
| 型式・バリエーション | 型式：ASG-2[①～③] / ターゲット距離(120～300) ①-UHV/6 ：UHV標準ICF152 ②-UHV/8S ：UHVシャッター付ICF203 ③-UHV/8 ：UHVシャッター増設可能ICF203 その他特注品、お問い合わせください。 | |
電源類
| 品名 | 型式 | 仕様 |
| 100W 高周波電源 | ASG-100PM-1 | 周波数：13.56MHz ±1kHz 出力電力：0～120W (100W連続) 出力コネクタ：N型 出力安定度：±1% (電源電圧±7%時) 出力インピーダンス：4～60Ω 入力：100VAC 単相 50～60Hz (300W最大) 冷却：強制空冷 寸法：H130ｘW280ｘD303 |
| 300W 高周波電源 | ASG-300P-1 | 周波数：13.56MHz ±1kHz 出力電力：0～300W (300W連続) 出力コネクタ：N型 出力安定度：±1% (電源電圧±5%時) 出力インピーダンス：50Ω 入力：200VAC 単相 50～60Hz (900W最大) 冷却：強制空冷 寸法：H134ｘW358ｘD270 |
| 300W 自動整合器 | ASG-300M | 周波数：13.56MHz ±1kHz 高周波電力平均：300W 出力コネクタ：HN型 出力安定度：±1% (電源電圧±5%時) 出力インピーダンス：50Ω 入力：100VAC 単相 50～60Hz (50W最大) 冷却：自然空冷 寸法：H150ｘW290ｘD250 |
| DCパルススパッタ電源 | ASG-500DC-P | 出力：700V 0.71A (0.8A) サージキラー付 DC/パルス切り替えスイッチ付 出力ケーブル (HNプラグ付) 3m X 1本 DUTY比：10～90% |
| DCスパッタ電源 | ASG-500DC | 出力：700V 0.71A (0.8A) サージキラー付 出力ケーブル (HNプラグ付) 3m X 1本 |
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