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製品紹介

i Quick 超高真空蒸着装置

製品情報

仕様・構成
到達圧力成膜室:10-8Pa台
試料準備室:10-6Pa台
成膜室 チェンバーサイズ/材質:φ400×H500 SUS304製
内面処理:バフ研磨+電解研磨
φ203ICFビューイングポート
(手動シャッター付、内部観察用)
φ 70ICF ビューイングポート
(手動シャッター付、蒸発源観察用)
水冷パイプ巻き、シースヒーター巻き
メインポンプ800L/sec.磁気軸受型ターボ分子ポンプ
 補助ポンプ350L/min.ロータリーポンプ
マニピュレータZ軸ストローク:50mm
面内回転:360°連続モーター駆動(~20rpm)
 基板ホルダーφ3インチ(φ2,φ4インチも選択可)
蒸発源3kW電子ビーム蒸発源(4基)
・ビーム加速電圧:5kV
・エミッション電流:0~600mA
・ビームスイープ
・ルツボ数/容量:4個、3.8mL
・マウントフランジ:φ253ICF
——※共蒸着:4元同時可能(但し、電子銃制御電源×4台必要、標準装備は1台)
試料準備室チェンバーサイズ/材質:φ100×H150、SUS304製
φ203ICF基板交換ハッチ
自動リークバルブ
搬送機構マグネットフィードスルー式
 メインポンプ300L/sec.磁気軸受型ターボ分子ポンプ
補助ポンプ150L/min.ロータリーポンプ
 荒引きポンプ250L/min.オイルフリースクロールポンプ
制御・計測系 電離真空計(ヌードイオンゲージ)測定範囲:10-2~10-9Pa
チャンネル数:2ch切換
 コンベクトロン真空計測定範囲:0.1MPa~10-2Pa
チャンネル数:2ch
 膜厚制御器XTC/2、シャッター付UHVベーカブル検出器
 タッチパネル式コントロール
(PC+LabVIEW*)
真空排気・リークの自動操作、
ポンプ・バルブのリモート操作、
インターロック、オートリーク機能、停電対策
*LabVIEWとは、ナショナルインスツルメンツ社が
開発した計測・テスト用ソフトウェアです

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