超高真空蒸着装置 i Quick
メーカー名：株式会社アールデック
製品情報
概要
iQuickは、独立行政法人産業技術総合研究所（産総研）・エレクトロニクス研究部門と共同で開発された、学生からベテラン研究者まで誰にでも高品質な蒸着膜を簡単かつ迅速に成膜出来るとても使いやすい蒸着装置です。
iQuickの “i” とは、産総研・エレクトロニクス研究部門が提唱する人や環境への“あい”、inteligence（個性）を実現する技術のコンセプトに基づいて設計・開発されました。
それに“Quick”をプラスし、操作や受け渡しが単純で確実・何度でも早く繰り返し成膜が出来る（QTAT）装置のブランドです。
仕様・構成
■到達真空度
| 成膜室 | 10-8Pa台 |
| 試料準備室 | 10-6Pa台 |
■成膜室
| チェンバー | サイズ/材質：φ400×H500 SUS304製 内面処理：バフ研磨＋電解研磨 φ203ICFビューイングポート (手動シャッター付、内部観察用) φ 70ICF ビューイングポート (手動シャッター付、蒸発源観察用) 水冷パイプ巻き、シースヒーター巻き |
| メインポンプ | 800L/sec.磁気軸受型ターボ分子ポンプ |
| 補助ポンプ | 350L/min.ロータリーポンプ |
| マニピュレータ | Ｚ軸ストローク：50mm 面内回転：360°連続モーター駆動(～20rpm) |
| 基板ホルダー | φ3インチ（φ2,φ4インチも選択可） |
| 蒸発源 | 3kW電子ビーム蒸発源（4基) ・ビーム加速電圧：5kV ・エミッション電流：0～600ｍA ・ビームスイープ ・ルツボ数/容量：4個、3.8mL ・マウントフランジ：φ253ICF ※共蒸着：４元同時可能 (但し、電子銃制御電源×4台必要、標準装備は１台) |
■試料準備室
| チェンバー | サイズ/材質：φ100×H150、SUS304製 φ203ICF基板交換ハッチ 自動リークバルブ |
| 搬送機構 | マグネットフィードスルー式 |
| メインポンプ | 300L/sec.磁気軸受型ターボ分子ポンプ |
| 補助ポンプ | 150L/min.ロータリーポンプ |
| 荒引きポンプ | 250L/min.オイルフリースクロールポンプ |
■制御・計測系
| 電離真空計（ヌードイオンゲージ） | 測定範囲：10-2～10-9Pa チャンネル数：2ch切換 |
| コンベクトロン真空計 | 測定範囲：0.1MPa～10-2Pa チャンネル数：2ch |
| 膜厚制御器 | XTC/2、シャッター付UHVベーカブル検出器 |
| ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ式ｺﾝﾄﾛｰﾙ （PC＋LabVIEW*） | 真空排気・リークの自動操作、 ポンプ・バルブのリモート操作、 インターロック、オートリーク機能、停電対策 ※LabVIEWとは、ナショナルインスツルメンツ社が 開発した計測・テスト用ソフトウェアです |