小型スパッタ装置 A-sputter シリーズ
メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
特長
ベースセット（成膜チャンバと真空排気系）に多彩なオプションを組み合わせて、お客様のご使用目的に合わせた蒸着装置を提供します。
さらにUHVオプション、ロードロック室オプションと組み合わせてMBEまで拡張できます。
仕様
| 項目 | 基本スペース仕様 | オプション | |
| チェンバ | サイズ/材質 | Φ210×H400/SUS304 電解研磨 | – |
| 到達圧力 | 1.0×10-4Pa 以下 | – | |
| 基板マニピュレータ | Φ2インチ基板ホルダ/手動シャッター付 | 基板加熱 MAX1000℃ 耐酸素基板加熱 MAX1000℃ 基板回転 5~50rpm 基板冷却 水冷orLN2 XYZ移動機構 | |
| ソースフランジ | ICF114×4 | ICF152×3 | |
| マグネトロンスパッタ源 | 1”スパッタ源×1基 | 1”スパッタ源 最大4基 2”スパッタ源 最大3基 手動シャッター機構 | |
| スパッタ電源 | 100W RF電源+手動整合器×1式 | 300W RF電源 自動整合器 | |
| ガス導入系 | 手動バリアブルリークバルブ×1系統 | デジタルMFC 最大3系統 手動ニードル付マスフローメーター | |
| 排気系 | 主排気ポンプ | 300L/s ターボ分子ポンプ | – |
| 補助ポンプ | 250L/min ロータリーポンプ | ドライポンプ | |
| メインバルブ | 手動バタフライバルブ | 自動コントロールゲートバルブ | |
| 真空計 | ワイドレンジゲージ 大気圧〜10-7Pa | – | |
| 膜厚レートモニタ | 無し | QCMセンサー+膜厚モニタ STM-2 QCM移動機構 | |
| ロードロック室 | 無し | 付き | |
蒸着源オプション
（AVC社HPにリンクします）
超高真空1源エバポレーター
超高真空 3源エバポレーター
コンパクトセル
有機エバポレーター
低温セル
高温セル
EB蒸発源：Rod-Fed電子銃
抵抗加熱蒸着源
2インチスパッタ源
※その他オプションについてはお問い合わせください。