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製品紹介

簡易プラズマCVD装置　823MNK

メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー

製品情報

特長

RFプラズマにより簡易的にプラズマCVD成膜が行えます。

仕様
■成膜室
チェンバーバッチ式　φ159×95
RF機構300W出力 / 自動制御システム
サンプルサイズφ2inch以下
排気系RP 250 L/min
■ガス導入系
  • ニードルバルブ流量計制御
  • バタフライバルブ排気コンダクタンス制御
  • 圧力モニター：バラトロン / コンベクトロン

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