加熱温度管理システム 49UL メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, 継手/バルブ/トラップ 製品情報 特長 様々な規格サイズの真空配管用ジャケットヒーター設定温度：〜200℃ETCH、CVD、ALD等様々なプロセスに。LOW TEMPアラート機能搭載
