超高真空X線光電子分光装置 DA0084
メーカー名:株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
特長
半球型エネルギーアナライザーとモノクロX線により高分解なXPS分析ができます。
また、MBE装置などとのドッキングが可能で、超高真空を破ることなく材料分析ができます。
仕様
分析室 | パーマロイシールド付き |
サンプルサイズ | 10㎜×10㎜ |
角度分解能 | 0.05° |
試料マニピュレーター | 4軸モーターコントロール (X, Y, Z, θ) |
排気系 | IP/TSP付き・TMP・SP |