超高真空X線光電子分光装置 DA0084 製品情報 特長 半球型エネルギーアナライザーとモノクロX線により高分解なXPS分析ができます。また、MBE装置などとのドッキングが可能で、超高真空を破ることなく材料分析ができます。 仕様 分析室パーマロイシールド付きサンプルサイズ10㎜×10㎜角度分解能0.05°試料マニピュレーター4軸モーターコントロール (X, Y, Z, θ)排気系IP/TSP付き・TMP・SP