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製品紹介

超高真空X線光電子分光装置 DA0084

製品情報

特長

半球型エネルギーアナライザーとモノクロX線により高分解なXPS分析ができます。
また、MBE装置などとのドッキングが可能で、超高真空を破ることなく材料分析ができます。

仕様
分析室パーマロイシールド付き
サンプルサイズ10㎜×10㎜
角度分解能0.05°
試料マニピュレーター4軸モーターコントロール (X, Y, Z, θ)
排気系IP/TSP付き・TMP・SP

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