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製品紹介

超高真空表面構造分析装置 567DAG

製品情報

特長

半導体やモデル触媒等におけるLEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が可能な表面分析装置です。
分析計にはLEED / AES、四重極質量分析計を搭載、金属薄膜作成に最適な超高真空エバポレータなどが搭載されている表面構造分析装置です。

仕様
表面分析系LEED / AES
蒸発源超高真空エバポレータ AEVシリーズ
ガスソース水素クラッキング銃 AEVシリーズ
試料加熱直接通電加熱式 (TCコンタクト式サンプルホルダー)
試料マニピュレーターX,Y,Z,θ,面内回転軸の5軸操作
昇温脱離分析四重極質量分析計
ガス導入系高精度バリアブルリークバルブ
分析室圧力10-8Pa台 (TMP排気)
*オプションでIP排気系搭載可能 (10-9Pa台)
 試料ロードロック機構標準装備
超高真空排気制御系全自動排気制御 (タッチパネル搭載)

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