超高真空表面構造分析装置 567DAG
メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
特長
半導体やモデル触媒等におけるLEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が可能な表面分析装置です。
分析計にはLEED / AES、四重極質量分析計を搭載、金属薄膜作成に最適な超高真空エバポレータなどが搭載されている表面構造分析装置です。
仕様
| 表面分析系 | LEED / AES |
| 蒸発源 | 超高真空エバポレータ AEVシリーズ |
| ガスソース | 水素クラッキング銃 AEVシリーズ |
| 試料加熱 | 直接通電加熱式 (TCコンタクト式サンプルホルダー) |
| 試料マニピュレーター | X,Y,Z,θ,面内回転軸の5軸操作 |
| 昇温脱離分析 | 四重極質量分析計 |
| ガス導入系 | 高精度バリアブルリークバルブ |
| 分析室圧力 | 10-8Pa台 (TMP排気) *オプションでIP排気系搭載可能 (10-9Pa台) 試料ロードロック機構標準装備 |
| 超高真空排気制御系 | 全自動排気制御 (タッチパネル搭載) |