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製品紹介

角度分解型高分解能電子分光装置(ARPES装置)

メーカー名:株式会社エイブイシー

製品情報

概要

VGシエンタ社高分解能アナライザーR3000を搭載し、チェンバー内部には磁場シールドを装備したARPES装置です。
同チェンバーでのLEED測定、TPD測定、蒸着等が可能な磁場シールド構造で、操作性を考慮した装置設計となっています。
将来、ビームライン等を用いての測定でも、アナライザーを容易に回転変更できる設計となっています。

装置仕様
品名仕様・型式備考
1分析チェンバー450℃@10h脱ガス処理
到達真空度(72hベーク後)3.1E-8Pa実績値
内部1重磁場シール(中心磁場)300nT以下実績値
2主排気系

タンデムターボ排気仕様680l/sTMP+70l/sTMP
非蒸発型ゲッターポンプ
NEXTorr D2000を増設可能
(ティ型排気チャンバ増設時)
3角度分解型高分解能アナライザーR3000UPS/ARPESVGシエンタ社
分解能3meV
取込角度±5°、±10°
4UPS光源UPS/7サーモフィッシャー社
リトラクトステージ50㎜ストローク
5LEED/AES
(リトラクト機能付き)
BDL600IROCI社
6TPD用Q-massMicrovision2
(1-100amu)
MKS社
7超高真空1源エバポレータAEV-11
EB加熱方式
ロッド状原料
8試料マニピュレータ1000℃以上
(実績値)
試料直接通電加熱方式
(Si基板)
1000℃以上
(実績値)
超高真空高精度冷却マニピュレータ
θ軸回転
(手動/分解能0.1度)
360°i-GONIOへバージョンアップ可能
XY軸移動
(手動/分解能0.05㎜)
±12.5㎜
Z軸移動
(手動/分解能0.5㎜)
200㎜
9直接通電加熱試料ホルダー
(電子チャージアップ・防着対策カバー付)
搬送着脱可
10試料ロードロック室
ロードロックチェンバーICF70-6Way クロス
搬送機AMF-275/500
サンプルトランスファー
(鍵穴チャック式トランスファー)
AST-RL
排気ポンプ50l/sTMP
112分割架台
分析室架台アルミ製
アナライザー架台
(ビームライン拡張を考慮した設計形状
=アナライザー180度回転可)
アルミ製

※お客様のご希望に合わせ、設計製作可能です。お問合せください。

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