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製品紹介

超高真空L型ポリイミドバルブ

製品情報

概要

本バルブは、10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。
真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少いポリイミド樹脂を使用しております。150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。

特長
  • すぐれた許容加熱性
    ポリイミド・シールは開閉いずれの場合でも室温から最高300℃までの繰り返しベーキングに対応
  • ガス放出の少いシール材
    ポリイミド樹脂のガス放出は、ふっ素ゴム(バイトン)と比較すると少いので10-8Pa程度の超高真空を容易に達成
  • 小さな締付けトルク
    ポリイミド・シールの締付けトルクはメタルシールほど大きなトルクは不要
仕様
型 名951-7145951-7120
使用真空領域大気圧~10-8Pa程度
許容加熱温度*1,2300℃
シール材(ガスケット)ポリイミド樹脂ポリイミド樹脂*4
推奨締付シール力
(参考締付トルク*5)
1225N~1921N
(2~3.4N・m)
3920N~4900N
(4.9~5.9N・m)
最大締付シール力
(参考締付トルク*5)
2626N
(5.9N・m)
7840N
(14.7N・m)
操作手動ベーキングを数回行った場合
カニメスパナを使用
コンダクタンス1L/sec30L/sec
リーク量*36.7×10-11Pa・m3/sec以下
使用材料本体:SUS-304
ベローズ:SUS-304L
ハンドル:AL合金(黒色アルマイト)
接続フランジ φ34ICFフランジφ70ICFフランジ
質量0.41kg1.6kg
添付品 カニメスパナ、六角棒スパナ

*1)バルブ内部を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。
*2)連続加熱を行う場合は260℃となります。
*3)ポリイミド樹脂のガス透過は仕様外。
*4)ボンネットシール部のメタルシール(SUS321銀メッキ“O”リング)化もご相談に応じます。
*5)締付トルクはベーキング等により駆動ネジの摩擦係数が増加し、締付トルクと締付シール力の関係が変化しますので参考値です。

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