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製品紹介

Vシリーズ 粗引きバルブ V-025RV

製品情報

概要

本バルブは、10-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用したバルブです。高真空装置用バルブとして、また超高真空装置のあら引きバルブとして最適です。

特長
  • 高真空領域まで使用可能
    10-4Pa程度の高真空領域までご使用可能(軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用)
  • 開閉ポジションセンサスイッチ
    圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用のポジションセンサスイッチを装備
仕様
駆動方式圧空手動
型名V-025RV-CNV-025RV-MN
使用圧力領域大気圧~10-4Pa 程度
Heリーク量*1静止時6.7×10-11Pa・m3/sec
開閉時~10-5Pa・m3/sec
コンダクタンス7L/sec
許容加熱温度60℃
主要部材質本体SUS-304
駆動部AL合金(エアーシリンダ)ナイロン66、
ポリプロピレン(ハンドル)
真空シール材フッ素ゴムOリング(メインシール部,軸シール部,ボンネットシール部)
軸シール部潤滑剤:パーフロロポリエーテルグリース
作動エアー圧0.4~0.6 MPa
エアー消費量
(L/サイクル)*2
0.024
エアー供給口M5
開閉センサ■センサスイッチ仕様参照
使用流体大気又はガス (腐食性ガスを除く)
質量0.63kg0.58kg
接続フランジ*3NW25フランジ

*1)フッ素ゴム(バイトン)Oリングのガス透過は仕様外。
*2)エアー圧0.5MPa時1サイクル(開閉)でのエアー消費量です。
*3)NW25フランジはエラストマーガスケット(主にフッ素ゴム)を使用する真空装置用クランプフランジです。詳細についてはお問合せください。

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