Products

製品紹介

超高真空バリアブルリークバルブ

画像は951-7172です。

製品情報

概要

本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。
また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。

特長
  • 熱と外部衝撃に強いシール部
    シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません
  • 微少ガス流量を安定調節
    調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下(Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2MPa時)と、きわめて微少ガス流量の導入が可能
  • 優れた許容加熱性
    全金属製で450℃までのベーキングが可能
  • 広範囲ガス流量の調節が可能
  • 超高真空接続可能
用途
  • 導入ガス流量の調節を必要とする真空装置
  • スパッタ装置、ガス分析装置
  • 物理学実験・研究用装置等
仕様
使用真空領域大気圧~10-8Pa程度
調節可能最小リーク量*16.7×10-9Pa・m3/sec以下
バルブ全閉時リーク量6.7×10-11Pa・m3/sec以下
許容加熱温度*2450℃ (開閉いずれも可)
ガスケットの寿命約300回シール (室温使用時)
約30回シール (ベーキングを伴う場合)
(ガスケット交換可能)
構成部品材料本体:SUS-304
シール部:WC系超硬合金
ガスケット:Cu合金
接続フランジガスOUTLET側φ70ICF 固定フランジ
ガスINLET側φ8×φ6SUS-304管 (951-7170)
φ34ICF 固定フランジ付 (951-7172)
添付品951-9160 ガスケット 2個
951-9160 リング 2個
951-9160 スパナ 1本
呼び5六角棒スパナ 1本
呼び8六角棒スパナ 1本
質量1.3kg

*1)圧力0.2MPaのHeガスをガス導入側に接続しφ70ICF側を真空に排気している状態での値です。
*2)ガス導入側およびφ70ICF側を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。

オンラインショップはこちら

PAGETOP