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製品紹介

DRYFORCE スリム

製品情報

仕様
ターボ分子ポンプ排気速度:300 L/sクラス
到達圧力:10-8 Pa台 ( ベーキング後単体性能 )
ドライルーツポンプ( NeoDry15E )排気速度:250 L/min
ガスバラスト付き
大きな水蒸気処理量 250 g/h
真空計 ( M-361コールドカソードピラニゲージ )圧力測定範囲:大気圧 ~5×10-7Pa
排気操作 ( タッチパネル )AUTO DRIVE MODE MANUAL DRIVE MODE
自動立上げ/自動停止 手動立上げ/手動停止
マニホールドICF152-NW40-NW25
入力AC100 V / 15 A ( 入力ケーブル5 m付 )
排気口継手φ38排気ダクト
重量55 kg
特長

■ “DRYFORCEスリム”はターボ分子ポンプとドライルーツポンプの構成によりクリーンな真空をパワフルに造る真空排気システムです。

■ ドライルーツポンプは多段“ルーツローターが非接触”で回転し気体の圧縮排気を行います。磨耗部分がないため性能劣化がなく、長寿命でメンテナンス費用を低減できます。

■ タッチパネル上で排気/停止をワンボタンで行い、真空度・経過時間・ステータス等の視認性が優れています。AUTO・MANUAL切り替え可能な排気コントローラを標準搭載しています。

■ コンパクトサイズ(幅:300 mm x 長さ:600 mm)なので省設置スペースです。

排気コントローラ 5 inch タッチパネル
AUTO DRIVE MODE 画面

排気開始・停止が1ボタンで簡単スタート

       

MANUAL DRIVE MODE 画面

タッチしやすいボタンで、ドライポンプと        ターボポンプを個別に操作

寸法図

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