DRYFORCE スリム
メーカー名:株式会社アールデック
製品情報
仕様
ターボ分子ポンプ | 排気速度:300 L/sクラス |
到達圧力:10-8 Pa台 ( ベーキング後単体性能 ) | |
ドライルーツポンプ( NeoDry15E ) | 排気速度:250 L/min |
ガスバラスト付き | |
大きな水蒸気処理量 250 g/h | |
真空計 ( M-361コールドカソードピラニゲージ ) | 圧力測定範囲:大気圧 ~5×10-7Pa |
排気操作 ( タッチパネル ) | AUTO DRIVE MODE MANUAL DRIVE MODE |
自動立上げ/自動停止 手動立上げ/手動停止 | |
マニホールド | ICF152-NW40-NW25 |
入力 | AC100 V / 15 A ( 入力ケーブル5 m付 ) |
排気口継手 | φ38排気ダクト |
重量 | 55 kg |
特長
- “DRYFORCEスリム”はターボ分子ポンプとドライルーツポンプの構成によりクリーンな真空をパワフルに造る真空排気システムです。
- ドライルーツポンプは多段“ルーツローターが非接触”で回転し気体の圧縮排気を行います。磨耗部分がないため性能劣化がなく、長寿命でメンテナンス費用を低減できます。
- タッチパネル上で排気/停止をワンボタンで行い、真空度・経過時間・ステータス等の視認性が優れています。AUTO・MANUAL切り替え可能な排気コントローラを標準搭載しています。
- コンパクトサイズ(幅:300 mm x 長さ:600 mm)なので省設置スペースです。
■排気コントローラ 7 inch タッチパネル
AUTO DRIVE MODE 画面
排気開始・停止が1ボタンで簡単スタート
MANUAL DRIVE MODE 画面
タッチしやすいボタンで、ドライポンプと ターボポンプを個別に操作