エクセルポンプ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発したポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータの採用やNEG（非蒸発型ゲッタ）ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にした小型軽量ポンプです。
特長
- UHV、XHV領域での高い排気能力
新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG（非蒸発型ゲッタ）モジュールにより、10-10Pa台を実現 - 高効率ベーキングの実現
組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現 - 小型、軽量
40％のサイズダウン
用途
- 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
- 電子顕微鏡、表面分析装置
- 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
- 電子管などの真空保持ポンプ
仕様
■ポンプ
| 型名 | 912-7100 |
| 排気速度 (N2ガスに対して) | 125L/s |
| 動作範囲 | 10-3～10-10Pa *NEGモジュール組込時 |
| 起動可能圧力 | 1×10-2Pa 以下 |
| 内容積 | 約10L |
| 最大加熱温度 | 250 ℃ (但し、マグネットを取り外したポンプシェル 本体は450℃までベーキング可能) |
| 吸入口 | φ152ICF |
| 電流導入端子 | 954-7281 |
| 素子(交換用) | 915-7070 エクセル素子(2個) |
| マグネット | 912-7005 (1個) 本体に含む |
| 質量 | 約48kg |
■制御装置
| 型名 | PIC-052NP | |
| ポンプ起動可能圧力 | 1×10-2Pa | |
| 入力電源 | AC100V±10% 1φ50/60Hz | |
| 最大入力電流 (起動時50/60Hz共通) | 8A | |
| 出力開放電圧 | DC-7.0kV | |
| 最大出力電流 | 約120mA (出力短絡電流 入力周波数50Hz時) | |
| 使用環境温度・湿度 | 0～40℃ 90%以下 (露結なし) | |
| メータレンジ | 出力電圧 | 10kV フルスケール(LINEAR 表示) |
| ポンプ電流 | 1A フルスケール(LOG表示) | |
| 圧力記録 | 1.3×10-3～10-6Pa | |
| 入力ケーブル組み立て | 3m | |
| 出力ケーブル組み立て | 3m (954-7403) | |
| 質量 | 約6kg | |
オプション
■ヒーターキット
スパッタイオンポンプで超高真空・極高真空を得るためには、真空容器ならびにポンプ本体のベーキングが必要不可欠です。
本ヒーターキットは、エクセルポンプ本体とマグネットの間にヒーターを組み込む構造になっているため、従来のシースヒーターに比べて、高効率のベーキングが可能となります。
また、NEGモジュール(オプション)の活性化処理用ヒータ兼用ですので、エクセルポンプのベーキングを行いながらNEGモジュールの活性化が容易に行えます。
■NEGモジュール（オプション）
エクセルポンプに組込み、超高真空～極高真空領域での活性な気体、特に水素に対する排気速度をアップし、XHVの達成を容易にする為のオプション・モジュールです。
エクセルポンプの容器内に取付け、ベーキングして活性化する事でポンプとして機能します。
エクセルポンプ容器の外側に取付けたプレ－トヒーターによる間接加熱で、エクセルポンプのベーキングと同時に、容易に活性化する事ができます。
※詳細はお問合せください。