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製品紹介

エクセルポンプ

製品情報

概要

イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発したポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータの採用やNEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にした小型軽量ポンプです。

特長
  • UHV、XHV領域での高い排気能力
    新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ)モジュールにより、10-10Pa台を実現
  • 高効率ベーキングの実現
    組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
  • 小型、軽量
    40%のサイズダウン
用途
  • 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
  • 電子顕微鏡、表面分析装置
  • 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
  • 電子管などの真空保持ポンプ
仕様
■ポンプ
型名912-7100
排気速度 (N2ガスに対して)125L/s
動作範囲10-3~10-10Pa *NEGモジュール組込時
起動可能圧力1×10-2Pa 以下
内容積約10L
最大加熱温度250 ℃ (但し、マグネットを取り外したポンプシェル
本体は450℃までベーキング可能)
吸入口φ152ICF
電流導入端子954-7281
素子(交換用)915-7070 エクセル素子(2個)
マグネット912-7005 (1個) 本体に含む
質量約48kg
■制御装置
型名PIC-052NP
ポンプ起動可能圧力1×10-2Pa
入力電源AC100V±10% 1φ50/60Hz
最大入力電流 (起動時50/60Hz共通)8A
出力開放電圧DC-7.0kV
最大出力電流約120mA (出力短絡電流 入力周波数50Hz時)
使用環境温度・湿度0~40℃ 90%以下 (露結なし)
メータレンジ出力電圧10kV フルスケール(LINEAR 表示)
ポンプ電流1A フルスケール(LOG表示)
圧力記録1.3×10-3~10-6Pa
入力ケーブル組み立て3m
出力ケーブル組み立て3m (954-7403)
質量約6kg
オプション
ヒーターキット

スパッタイオンポンプで超高真空・極高真空を得るためには、真空容器ならびにポンプ本体のベーキングが必要不可欠です。
本ヒーターキットは、エクセルポンプ本体とマグネットの間にヒーターを組み込む構造になっているため、従来のシースヒーターに比べて、高効率のベーキングが可能となります。
また、NEGモジュール(オプション)の活性化処理用ヒータ兼用ですので、エクセルポンプのベーキングを行いながらNEGモジュールの活性化が容易に行えます。

NEGモジュール(オプション)

エクセルポンプに組込み、超高真空~極高真空領域での活性な気体、特に水素に対する排気速度をアップし、XHVの達成を容易にする為のオプション・モジュールです。
エクセルポンプの容器内に取付け、ベーキングして活性化する事でポンプとして機能します。
エクセルポンプ容器の外側に取付けたプレ-トヒーターによる間接加熱で、エクセルポンプのベーキングと同時に、容易に活性化する事ができます。

※詳細はお問合せください。

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