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製品紹介

オールメタルバリアブルリークバルブ Series 59.0

メーカー名:VAT株式会社

製品情報

主な用途

超高真空プロセス圧力を微少流量制御(例:MBE、ガス分析)

特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • 激しい腐食性ガスへの耐性
  • 精密で再現性の高いガス流量調整
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-11Pam3s-1
使用圧力範囲XHV to 1MPa(abs)
バルブを開ける時の許容最大差圧≦1MPa
第1回サービスまでのサイクル数20,000回
ベークアウト温度バルブボディ≦300℃
手動アクチュエータ≦300℃
ステッピングモーター≦50℃
材質バルブボディSUS
ダイアフラムSUS+金メッキ
取付方向自由
コンダクタンス(分子流)0.05 ls-1
ガス流量調節範囲1・10-11Pam3s-1 to 10Pam3s-1
コントローラ搭載型
ステッピングモーター
ポジション分解能10万ステップ(回転角0-90°に対して)
閉時間3.5s
製品一覧
  • ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ (手動式)
    型式:59024-GE01

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  • ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ(コントローラ搭載型ステッピングモーター)
    型式:59024-GEGG (RS232)

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  • ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ(コントローラ搭載型ステッピングモーター)
    型式:59024-GEGC (Logic)

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