オールメタルバリアブルリークバルブ Series 59.0
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
超高真空プロセス圧力を微少流量制御(例：MBE、ガス分析)
特長
- ボディ材質：ステンレス
- 激しい腐食性ガスへの耐性
- 精密で再現性の高いガス流量調整
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-11Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-11Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | XHV to 1MPa(abs) | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦1MPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 20,000回 | |
| ベークアウト温度 | バルブボディ | ≦300℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦300℃ | |
| ステッピングモーター | ≦50℃ | |
| 材質 | バルブボディ | SUS |
| ダイアフラム | SUS+金メッキ | |
| 取付方向 | 自由 | |
| コンダクタンス(分子流) | 0.05 ls-1 | |
| ガス流量調節範囲 | 1・10-11Pam3s-1 to 10Pam3s-1 | |
| コントローラ搭載型 ステッピングモーター | ポジション分解能 | 10万ステップ(回転角0-90°に対して) |
| 閉時間 | 3.5s | |
製品一覧
- ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ (手動式)
型式：59024-GE01
- ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ(コントローラ搭載型ステッピングモーター)
型式：59024-GEGG (RS232)
- ICF34オールメタルバリアブルリークバルブ(コントローラ搭載型ステッピングモーター)
型式：59024-GEGC (Logic)