超高真空L型 オールメタルバルブ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
本バルブは10-8Pa以下まで使用できる、全金属製の超高真空L型バルブです。400℃または450℃までベークアウトができ、ハードベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。
特長
- 超高真空領域用
10-8Pa以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バルブ - Capturingシール構造
弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用 - 優れた許容加熱性
400℃または450℃までのベークアウトが可能 - 容易なガスケット交換
仕様
| 型 名 | 951-7148 |
| 使用真空領域 | 大気圧～10-8Pa以下 |
| リーク量 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下 |
| 全開時コンダクタンス | 4L/sec |
| 許容加熱温度 | 400℃ |
| 初期封止トルク | 約15.7N・m |
| 最大封止トルク | 23.5N・m |
| 主要部材料 | ボディ：SUS-304 ベローズ：SUS-304 弁封止用ガスケット：銅合金 ボンネットガスケット：SUS-321銀メッキメタル 中空”O”リング |
| 接続フランジ | φ34ICFフランジ |
| 質量 | 0.7kg |
| 適用トルクレンチ （オプション） | 460Ｆ（角ドライブ寸法□9.53mm） （JIS B4650プレート形呼び450相当） |
| 添付品 | ガスケット取外治具：1S ハンドル：1個 呼び2.5六角スパナ：1本 呼び4六角棒スパナ：1本 ワイヤブラシ：1個 予備ワッシャ：大・小各1個 予備ガスケット：1個 |
| 型 名 | 951-7150 | 951-7152 |
| 使用真空領域 | 大気圧～10-8Pa以下 | |
| リーク量 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 全開時コンダクタンス | 30L/sec | 100L/sec |
| 許容加熱温度* | 450℃ | |
| 初期封止トルク | 29.4～34.3N・m | 78.4～127.4N・m |
| 最大封止トルク | 127.4N・m | 225.4N・m |
| 主要部材料 | ボディ：SUS-304 ベローズ：SUS-304 弁封止用ガスケット：銅合金 | |
| 接続フランジ | φ70ICFフランジ | φ114ICFフランジ |
| 質量 | 1.6kg | 7kg |
| 適用トルクレンチ | 1300F(角ドライブ寸法 12.7mm) (JIS B4650 プレート形呼び1300相当) | 2800F(角ドライブ寸法 19.05mm) (JIS B4650 プレート形呼び2800相当) |
| 添付品 | ハンドル：1個 呼び2.5六角棒スパナ：1本 呼び6六角棒スパナ：1本 ワイヤブラシ：1個 予備ワッシャ：大、小各1個 計2個 予備ガスケット：1個 | ハンドル：1個 呼び10六角棒スパナ：1本 BSボールポイントドライバ：1本 ワイヤブラシ：1個 予備ワッシャ：大、小各1個 計2個 予備ガスケット：1個 |