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製品紹介

超高真空L型 オールメタルバルブ

製品情報

概要

本バルブは10-8Pa以下まで使用できる、全金属製の超高真空L型バルブです。400℃または450℃までベークアウトができ、ハードベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。

特長
  • 超高真空領域用
    10-8Pa以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バルブ
  • Capturingシール構造
    弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用
  • 優れた許容加熱性
    400℃または450℃までのベークアウトが可能
  • 容易なガスケット交換
仕様
型 名951-7148
使用真空領域大気圧~10-8Pa以下
リーク量6.7×10-11Pa・m3/sec以下
全開時コンダクタンス4L/sec
許容加熱温度400℃
初期封止トルク約15.7N・m
最大封止トルク23.5N・m
主要部材料ボディ:SUS-304
ベローズ:SUS-304
弁封止用ガスケット:銅合金
ボンネットガスケット:SUS-321銀メッキメタル
中空”O”リング
接続フランジφ34ICFフランジ
質量0.7kg
適用トルクレンチ
(オプション)
460F(角ドライブ寸法9.53mm)
(JIS B4650プレート形呼び450相当)
添付品ガスケット取外治具:1S
ハンドル:1個
呼び2.5六角スパナ:1本
呼び4六角棒スパナ:1本
ワイヤブラシ:1個
予備ワッシャ:大・小各1個
予備ガスケット:1個
型 名951-7150951-7152
使用真空領域大気圧~10-8Pa以下
リーク量6.7×10-11Pa・m3/sec以下
全開時コンダクタンス30L/sec100L/sec
許容加熱温度*450℃
初期封止トルク29.4~34.3N・m78.4~127.4N・m
最大封止トルク127.4N・m225.4N・m
主要部材料ボディ:SUS-304
ベローズ:SUS-304
弁封止用ガスケット:銅合金
接続フランジφ70ICFフランジφ114ICFフランジ
質量1.6kg7kg
適用トルクレンチ1300F(角ドライブ寸法 12.7mm)
(JIS B4650 プレート形呼び1300相当)
2800F(角ドライブ寸法 19.05mm)
(JIS B4650 プレート形呼び2800相当)
添付品ハンドル:1個
呼び2.5六角棒スパナ:1本
呼び6六角棒スパナ:1本
ワイヤブラシ:1個
予備ワッシャ:大、小各1個 計2個
予備ガスケット:1個
ハンドル:1個
呼び10六角棒スパナ:1本
BSボールポイントドライバ:1本
ワイヤブラシ:1個
予備ワッシャ:大、小各1個 計2個
予備ガスケット:1個

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