Products

製品紹介

オールメタルアングルバルブ Series 57

製品情報

主な用途

(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用

特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • VATRING シール
  • 耐放射線性能108Gy (DN16-40手動式)
  • コンダクタンス大
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-11Pam3s-1
使用圧力範囲XHV to 0.5MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.5MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.1MPa
第1回サービスまでのサイクル数10,000回
ベークアウト温度バルブボディ≦450℃ (open)
≦350℃ (closed)
手動アクチュエータ六角ヘッド DN16-40≦450℃ (open)/≦350℃ (closed)
六角ヘッドDN63-160 ≦300℃ (open & closed)
圧空アクチュエータ単動シリンダー≦150℃
複動シリンダー≦200℃
電磁弁≦80℃
リミットスイッチ≦80℃ (オプション:200℃)
シール ボンネットメタル
ゲートメタル
軸シールベローズ
取付方向自由
製品一覧
  • ICF70オールメタルアングルバルブ (手動式)
    型式:57132-GE02
  • ICF70オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/単動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:57132-GE41

オンラインショップはこちら

  • ICF70オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:57132-GE44
  • ICF114オールメタルアングルバルブ (手動式)
    型式:57036-GE02
  • ICF114オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/単動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:57036-GE41
  • ICF114オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:57036-GE44

PAGETOP