オールメタルアングルバルブ Series 57
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用
特長
- ボディ材質：ステンレス
- VATRING シール
- 耐放射線性能108Gy (DN16-40手動式)
- コンダクタンス大
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-11Pam3s-1 | |
| バルブシート | ＜1・10-11Pam3s-1 | ||
| 使用圧力範囲 | XHV to 0.5MPa(abs) | ||
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.5MPa | ||
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.1MPa | ||
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 10,000回 | ||
| ベークアウト温度 | バルブボディ | ≦450℃ (open) | |
| ≦350℃ (closed) | |||
| 手動アクチュエータ | 六角ヘッド DN16-40 | ≦450℃ (open)/≦350℃ (closed) | |
| 六角ヘッドDN63-160 | ≦300℃ (open & closed) | ||
| 圧空アクチュエータ | 単動シリンダー | ≦150℃ | |
| 複動シリンダー | ≦200℃ | ||
| 電磁弁 | ≦80℃ | ||
| リミットスイッチ | ≦80℃ (オプション：200℃) | ||
| シール | ボンネット | メタル | |
| ゲート | メタル | ||
| 軸シール | ベローズ | ||
| 取付方向 | 自由 | ||
製品一覧
- ICF70オールメタルアングルバルブ (手動式)
型式：57132-GE02
- ICF70オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/単動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：57132-GE41
- ICF70オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：57132-GE44
- ICF114オールメタルアングルバルブ (手動式)
型式：57036-GE02
- ICF114オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/単動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：57036-GE41
- ICF114オールメタルアングルバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：57036-GE44