低価格オールメタルアングルバルブ Series 54.1
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用
特長
- ボディ材質：ステンレス
- FLEX VATRING シール
- 閉操作は機械的に止まるまで、トルク管理不要
- コンダクタンス大
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-11Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-11Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | XHV to 0.2MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.2MPa | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.1MPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 1,000回 | |
| 許容温度 | ≦300℃ | |
| シール | ボンネット | メタル |
| ゲート | メタル | |
| 軸シール | ベローズ | |
| 取付方向 | 自由 | |
| コンダクタンス(分子流) | DN16/40/63 | 5/50/105 ls-1 |
製品一覧
- ICF34UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
型式：54124-GE02
- ICF70UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
型式：54132-GE02
- ICF114UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
型式：54136-GE02