Products

製品紹介

低価格オールメタルアングルバルブ Series 54.1

製品情報

主な用途

(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用

特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • FLEX VATRING シール
  • 閉操作は機械的に止まるまで、トルク管理不要
  • コンダクタンス大
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-11Pam3s-1
使用圧力範囲XHV to 0.2MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.1MPa
第1回サービスまでのサイクル数1,000回
許容温度≦300℃
シールボンネットメタル
ゲートメタル
軸シール ベローズ
取付方向自由
コンダクタンス(分子流)DN16/40/635/50/105 ls-1
製品一覧
  • ICF34UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
    型式:54124-GE02

オンラインショップはこちら

  • ICF70UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
    型式:54132-GE02

オンラインショップはこちら

  • ICF114UHVアングルバルブ (手動式・SUSボディ)
    型式:54136-GE02

オンラインショップはこちら

PAGETOP