オールメタルゲートバルブ Series 48
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
- 加速器・ビームライン仕切り用
- (極)UHVメインチェンバー/TMP (IP、NEG)仕切り用
特長
- ボディ材質：ステンレス
- VATRING機構
- 閉位置での機械的ロック機構
- 耐放射線性能 (標準105Gy)
- 300℃までベーク可能
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜5・10-11Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-11Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | XHV to 0.2MPa(abs) | |
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.2MPa (DN16-40) | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.1MPa (DN16-40) ≦0.05MPa (DN63-320) | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 20,000回 (DN16-200) 5,000回 (DN250) | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦300℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦140℃ (オプション：200℃) | |
| 圧空アクチュエータ | ≦200℃ | |
| 電磁弁 | ≦80℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ (オプション200℃) | |
| シール | ボンネット | メタル |
| ゲート | メタル | |
| 軸シール | ベローズ | |
| 取付方向 | 自由 (DN16-250) | |
製品一覧
- ICF114オールメタルゲートバルブ (手動式)
型式：48236-CE01 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF114オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：48236-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF114オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：48236-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：300℃)
- ICF152オールメタルゲートバルブ (手動式)
型式：48240-CE01 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF152オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：48240-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：200℃)
- ICF152オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：48240-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度：300℃)