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製品紹介

オールメタルゲートバルブ Series 48

製品情報

主な用途
  • 加速器・ビームライン仕切り用
  • (極)UHVメインチェンバー/TMP (IP、NEG)仕切り用
特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • VATRING機構
  • 閉位置での機械的ロック機構
  • 耐放射線性能 (標準105Gy)
  • 300℃までベーク可能
仕様
リーク量バルブボディ<5・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-11Pam3s-1
使用圧力範囲XHV to 0.2MPa(abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa (DN16-40)
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.1MPa (DN16-40)
≦0.05MPa (DN63-320)
第1回サービスまでのサイクル数20,000回 (DN16-200)
5,000回 (DN250)
許容温度バルブボディ≦300℃
手動アクチュエータ≦140℃
(オプション:200℃)
圧空アクチュエータ≦200℃
電磁弁≦80℃
リミットスイッチ≦80℃ (オプション200℃)
シールボンネットメタル
ゲートメタル
軸シール ベローズ
取付方向自由 (DN16-250)
製品一覧
  • ICF114オールメタルゲートバルブ (手動式)
    型式:48236-CE01 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)

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  • ICF114オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:48236-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)

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  • ICF114オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:48236-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:300℃)
  • ICF152オールメタルゲートバルブ (手動式)
    型式:48240-CE01 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)

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  • ICF152オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:48240-CE74 (コンパクト型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:200℃)

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  • ICF152オールメタルゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:48240-CE44 (延長型アクチュエータ バルブ耐ベーク温度:300℃)

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