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製品紹介

ダイアフラムバルブ Series 22.0

製品情報

主な用途
  • 粗引き/バックラインの真空封止用
  • 定量絞り、ガス導入および液体用バルブ
特長
  • ボディ材質:アルミニウム
  • クリーニングおよびダイアフラムの交換が容易
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-5Pa to 0.5MPa(abs)
第1回サービスまでのサイクル数200,000
許容温度バルブボディ≦100℃
アクチュエータ≦50℃
シールダイアフラムFKM (Viton)
取付方向自由
コンダクタンス(分子流)DN16/25/402/5/17 ls-1
製品一覧
  • NW16ダイアフラムバルブ (手動式)
    型式:22024-KA01

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  • NW25ダイアフラムバルブ (手動式)
    型式:22028-KA01

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  • NW16ダイアフラムバルブ (手動式)
    型式:22032-KA01

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