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製品紹介

高真空ゲートバルブ(O-リング回転軸シール)Series 14.0

製品情報

主な用途
  • メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空)
  • 特に生産プロセスに最適ンバー/メインチェンバー仕切り用
特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • コンパクトデザイン
  • 巻き込みが無く確実、長寿命のOリング回転軸シール
  • VATLOCK方式による確実なロック
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-6Pa to 0.2MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa(両方向)
バルブを開ける時の許容最大差圧≦30hPa
第1回サービスまでのサイクル数200,000
許容温度バルブボディ≦150℃
手動アクチュエータ≦80℃
圧空アクチュエータ≦50℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ ≦80℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールOリング回転軸シール
取付方向自由
製品一覧
  • ICF114高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル)
    型式:14036-CE01

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  • ICF152高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル)
    型式:14040-CE01

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  • ICF203高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル)
    型式:14044-CE01

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  • ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:14036-CE44
  • ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:14040-CE44
  • ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:14044-CE44

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