高真空ゲートバルブ（O-リング回転軸シール）Series 14.0
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
- メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空)
- 特に生産プロセスに最適ンバー/メインチェンバー仕切り用
特長
- ボディ材質：ステンレス
- コンパクトデザイン
- 巻き込みが無く確実、長寿命のOリング回転軸シール
- VATLOCK方式による確実なロック
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.2MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.2MPa(両方向) | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30hPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 200,000 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦150℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 圧空アクチュエータ | ≦50℃ | |
| 電磁弁 | ≦50℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ | |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | Oリング回転軸シール | |
| 取付方向 | 自由 | |
製品一覧
- ICF114高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル)
型式：14036-CE01
- ICF152高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル)
型式：14040-CE01
- ICF203高真空ゲートバルブ (手動式・クランクハンドル)
型式：14044-CE01
- ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：14036-CE44
- ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：14040-CE44
- ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：14044-CE44