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製品紹介

2軸回転マグネットフィードスルー AMFW-275

製品情報

各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 第1軸:連続360°回転・直進移動
  • 第2軸:90°回転
  • サンプルトランスファー(AST-MH)対応
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
駆動方式マグネットカップリング方式
許容加熱温度≦200℃
直進力60N
回転トルク0.6Nm(第1,2軸共)
仕様
型式Z軸移動距離
(㎜)
A接続フランジ移動軸径
(㎜)
回転角度B
(㎜)
重量(Kg)
AMFW-275/400400ICF70-FH第1軸:Φ16(g6)
第2軸:Φ6(g6)
第1軸:360°
第2軸:90°
7205.4
AMFW-275/5005008207.7
AMFW-275/6006009206.8
AMFW-275/70070010206.4
AMFW-275/80080011206.8
AMFW-275/90090012207.1
AMFW-275/1000100013207.4

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