2軸回転マグネットフィードスルー AMFW-275
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- マグネットカップリング方式を採用
- 第1軸：連続360°回転・直進移動
- 第2軸：90°回転
- サンプルトランスファー(AST-MH)対応
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 60N |
| 回転トルク | 0.6Nm(第1,2軸共) |
仕様
| 型 式 | Z軸移動距離 (mm) | A接続フランジ | 移動軸径 (mm) | 回転角度 | B （mm） | 重量 （Kg） |
| AMFW-275/200 | 200 | ICF70-FH | 第1軸：Ø16 第2軸：Ø6(g6) | 第1軸：180° 第2軸：90° | 520 | 4.4 |
| AMFW-275/300 | 300 | 620 | 4.7 | |||
| AMFW-275/400 | 400 | 720 | 5 | |||
| AMFW-275/500 | 500 | 820 | 5.3 | |||
| AMFW-275/600 | 600 | 920 | 5.6 | |||
| AMFW-275/700 | 700 | 1020 | 5.9 | |||
| AMFW-275/800 | 800 | 1120 | 6.2 | |||
| AMFW-275/900 | 900 | 1220 | 6.5 | |||
| AMFW-275/1000 | 1000 | 1320 | 6.8 | |||
| AMFW-275/1100 | 1100 | 1420 | 7 | |||
| AMFW-275/1200 | 1200 | 1520 | 7.5 |