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製品紹介

マグネットフィードスルー AMF-275

製品情報

各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 連続360°回転と直進の移動が可能
  • Φ10、Φ16の2種類の移動軸から選択
  • 回転防止機構(AMF-RL)オプション
  • 遠隔操作機構(AMF-REM)オプション
  • サンプルトランスファー(AST-RL)対応
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
駆動方式マグネットカップリング方式
許容加熱温度≦200℃
直進力60N
回転トルク0.6Nm
仕様
型式Z軸移動距離
(㎜)
A接続フランジ移動軸径
(㎜)
C
(㎜)
重量
(Kg)
AMF-275/200200ICF70-FHΦ10(g6)
Φ16(g6)
4202.6
AMF-275/3003005202.8
AMF-275/4004006203
AMF-275/5005007203.2
AMF-275/6006008203.3
AMF-275/7007009203.5
AMF-275/80080010203.7
AMF-275/90090011203.9
AMF-275/1000100012204.1
AMF-275/1100110013204.3
AMF-275/1200120014204.5

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