マグネットフィードスルー AMF-275
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- マグネットカップリング方式を採用
- 連続360°回転と直進の移動が可能
- Φ10、Φ16の2種類の移動軸から選択
- 回転防止機構(AMF-RL)オプション
- 遠隔操作機構(AMF-REM)オプション
- サンプルトランスファー(AST-RL-1)対応
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 60N |
| 回転トルク | 0.6Nm |
仕様
| 型式 | Z軸移動距離 (㎜) | A接続フランジ | 移動軸径 (㎜) | C (㎜) | 重量 (Kg) |
| AMF-275/200 | 200 | ICF70-FH | Φ10(g6) Φ16 先端Φ10(g6) | 420 | 2.6 |
| AMF-275/300 | 300 | 520 | 2.8 | ||
| AMF-275/400 | 400 | 620 | 3 | ||
| AMF-275/500 | 500 | 720 | 3.2 | ||
| AMF-275/600 | 600 | 820 | 3.3 | ||
| AMF-275/700 | 700 | 920 | 3.5 | ||
| AMF-275/800 | 800 | 1020 | 3.7 | ||
| AMF-275/900 | 900 | 1120 | 3.9 | ||
| AMF-275/1000 | 1000 | 1220 | 4.1 | ||
| AMF-275/1100 | 1100 | 1320 | 4.3 | ||
| AMF-275/1200 | 1200 | 1420 | 4.5 |