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製品紹介

ロータリーステージ ARS

製品情報

各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが大気側から操作できる複合ステージです。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応(差動排気:1Pa以下)
  • 中空型連続回転ステージ
  • 角度分解能:0.1°
  • 回転速度:2rpm以下
  • モーター駆動にも対応可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
(1Pa以下の差動排気が必要)
真空シール方式UHVシール方式
駆動方式ウォームギヤ式
許容加熱温度≦200℃
角度分解能0.1°
回転速度2rpm以下
仕様
型式A接続フランジ
B移動フランジ
C内径
(㎜)
D
(㎜)
E
(㎜)
F差動排気
フランジ
G
(㎜)
H
(㎜)
I
(㎜)
重量
(Kg)
ARS-275ICF70-FT
ICF70-FT
Φ397018ICF34-FT607468.53.2
ARS-4ICF114-FT
ICF114-FT
Φ6570894.2
ARS-6ICF152-FT
ICF152-FT
Φ10590119966.4
ARS-8ICF203-FT
ICF203-FT
Φ15510033120169.517413.5

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