ロータリーステージ ARS
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが大気側から操作できる複合ステージです。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応(差動排気：1Pa以下)
- 中空型連続回転ステージ
- 角度分解能：0.1°
- 回転速度：2rpm以下
- モーター駆動にも対応可能
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec (1Pa以下の差動排気が必要) |
| 真空シール方式 | UHVシール方式 |
| 駆動方式 | ウォームギヤ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 角度分解能 | 0.1° |
| 回転速度 | 2rpm 以下 |
仕様
| 型式 | A接続フランジ B移動フランジ | C内径 (㎜) | D (㎜) | E (㎜) | F差動排気 フランジ | G (㎜) | H (㎜) | I (㎜) | 重量 (Kg) |
| ARS-275 | ICF70-FT ICF70-FT | Φ39 | 70 | 18 | ICF34-FT | 60 | 74 | 68.5 | 3.2 |
| ARS-4 | ICF114-FT ICF114-FT | Φ65 | 70 | 89 | 4.2 | ||||
| ARS-6 | ICF152-FT ICF152-FT | Φ105 | 90 | 119 | 96 | 6.4 | |||
| ARS-8 | ICF203-FT ICF203-FT | Φ155 | 100 | 33 | 120 | 169.5 | 174 | 13.5 |