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製品紹介

チルトステージ ATS

製品情報

各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 移動角度:±5°
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
マイクロメーター部除く
仕様
型式A接続フランジ
B接続フランジ
C内径
(㎜)
D
(㎜)
E
(㎜)
F
(㎜)
G
(㎜)
H
(㎜)
傾斜角重量
(Kg)
ATS-275ICF70-FH
ICF70-FT
Φ38118±6.54580Φ110160±5°2
ATS-4ICF114-FH
ICF114-FT
Φ70129±6.55395Φ1552054.7

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