チルトステージ ATS
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが、大気側から操作できる複合ステージです。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- 移動角度：±5°
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ マイクロメーター部除く |
仕様
| 型式 | A接続フランジ B接続フランジ | C内径 (㎜) | D (㎜) | E (㎜) | F (㎜) | G (㎜) | H (㎜) | 傾斜角 | 重量 (Kg) |
| ATS-275 | ICF70-FH ICF70-FT | Φ38 | 118±6.5 | 45 | 80 | Φ110 | 160 | ±5° | 2 |
| ATS-4 | ICF114-FH ICF114-FT | Φ70 | 129±6.5 | 53 | 95 | Φ155 | 205 | 4.7 |