XYステージ AXY
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが大気側から操作できる複合ステージです。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- NM型：±12.5㎜
- SM型：±12.5㎜(0.01㎜)
- LM型：±12.5㎜(0.005㎜)
- モーター駆動にも対応可能
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ マイクロメーター部除く |
仕様
| 型式 | XY軸移動距離(㎜)/XY移動軸精度(㎜) | A接続フランジ B移動フランジ | C内径 (㎜) | D (㎜) | E (㎜) | F (㎜) | 重量 (Kg) |
| AXY-275NM | ±12.5/1.0 | ICF70-FT ICF70-FT | Φ39 | 130 | 145.5±12.5 | 90 | 3.1 |
| AXY-275SM | ±12.5/0.01 | 199.5±12.5 | 3.4 | ||||
| AXY-275LM | ±12.5/0.005 | 193.5±12.5 | 3.5 | ||||
| AXY-4/275NM | ±12.5/1.0 | ICF114-FT ICF70-FT | 145.5±12.5 | 3.8 | |||
| AXY-4/275SM | ±12.5/0.01 | 199.5±12.5 | 3.9 | ||||
| AXY-4/275LM | ±12.5/0.005 | 193.5±12.5 | 4.1 | ||||
| AXY-4/4NM | ±12.5/1.0 | ICF114-FT | Φ70 | 180 | 170.5±12.5 | 130 | 8.1 |
| AXY-4/4LM | ±12.5/0.005 | 218.5±12.5 | 8.4 | ||||
| AXY-6/4NM | ±12.5/1.0 | ICF152-FT ICF114-FT | 170.5±12.5 | 9.8 | |||
| AXY-6/4LM | ±12.5/0.005 | 218.5±12.5 | 10 | ||||
| AXY-8/4NM | ±12.5/1.0 | ICF203-FT ICF114-FT | 170.5±12.5 | 150 | 12 | ||
| AXY-8/4LM | ±12.5/0.005 | 218.5±12.5 |
※Xステージもございます。