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製品紹介

XYステージ AXY

製品情報

各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが大気側から操作できる複合ステージです。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • NM型:±12.5㎜
  • SM型:±12.5㎜(0.01㎜)
  • LM型:±12.5㎜(0.005㎜)
  • モーター駆動にも対応可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
マイクロメーター部除く
仕様
型式XY軸移動距離(㎜)/XY移動軸精度(㎜)A接続フランジ
B移動フランジ
C内径
(㎜)
D
(㎜)
E
(㎜)
F
(㎜)
重量
(Kg)
AXY-275NM±12.5/1.0ICF70-FT
ICF70-FT
Φ39130145.5±12.5903.1
AXY-275SM±12.5/0.01199.5±12.53.4
AXY-275LM±12.5/0.005193.5±12.53.5
AXY-4/275NM±12.5/1.0ICF114-FT
ICF70-FT
145.5±12.53.8
AXY-4/275SM±12.5/0.01199.5±12.53.9
AXY-4/275LM±12.5/0.005193.5±12.54.1
AXY-4/4NM±12.5/1.0ICF114-FTΦ70180170.5±12.51308.1
AXY-4/4LM±12.5/0.005218.5±12.58.4
AXY-6/4NM±12.5/1.0ICF152-FT
ICF114-FT
170.5±12.59.8
AXY-6/4LM±12.5/0.005218.5±12.510
AXY-8/4NM±12.5/1.0ICF203-FT
ICF114-FT
170.5±12.515012
AXY-8/4LM±12.5/0.005218.5±12.5

※Xステージもございます。

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