3軸マニピュレーター　AMP 株式会社アールデックで取り扱っている製品詳細ページになります。

製品情報

各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが大気側から操作できる複合ステージです。

特長

• 圧力10^-8Pa以下の超高真空領域対応
• SM型：±12.5㎜(0.01㎜)
• LM型：±12.5㎜(0.005㎜)
• ICF34-FT導入ポート付(AMP-4は含まず)
• モーター駆動にも対応可能

許容リーク量	≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式	溶接ベローズ方式
駆動方式	ネジ式
許容加熱温度	≦200℃ マイクロメーター部除く

仕様

型式	XY軸移動距離(㎜) XY軸移動精度(㎜)	Z軸移動距離(㎜)/Z軸移動精度	A接続フランジ B移動フランジ	C (㎜)	D (㎜)	E (㎜)	重量 (Kg)
AMP-4/275/50SM	±12.5 0.01	50/1	ICF114-FH ICF70-FT	235~285	319	–	11
AMP-4/275/100SM		100/1		240~340	374		12
AMP-4/275/150SM		150/1		245~395	430		13
AMP-4/275/200SM		200/1		250~450	484		14
AMP-4/275/50LMS	±12.5 0.005	50/1		235~285	325		11
AMP-4/275/100LMS		100/1		240~340	380		12
AMP-4/275/150LMS		150/1		245~395	435		13
AMP-4/275/200LMS		200/1		250~450	490		14
AMP-6/275/50SM	±12.5 0.01	50/1	ICF152-FH ICF70-FT	235~285	319	ICF34-FT×4	12
AMP-6/275/100SM		100/1		240~340	374		13
AMP-6/275/150SM		150/1		245~395	430		13
AMP-6/275/200SM		200/1		250~450	484		14
AMP-6/275/50LMS	±12.5 0.005	50/1		235~285	325		12
AMP-6/275/100LMS		100/1		240~340	380		13
AMP-6/275/150LMS		150/1		245~395	435		14
AMP-6/275/200LMS		200/1		250~450	490		15
AMP-8/275/50SM	±12.5 0.01	50/1	ICF203-FH ICF70-FT	235~285	319	ICF34-FT×5	13
AMP-8/275/100SM		100/1		240~340	374		14
AMP-8/275/150SM		150/1		245~395	430		15
AMP-8/275/200SM		200/1		250~450	484		16
AMP-8/275/50LMS	±12.5 0.005	50/1		235~285	325		13
AMP-8/275/100LMS		100/1		240~340	380		14
AMP-8/275/150LMS		150/1		245~395	435		15
AMP-8/275/200LMS		200/1		250~450	490		16