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製品紹介

3軸マニピュレーター AMP

製品情報

各種真空装置における真空中での試料の移動・位置決めが大気側から操作できる複合ステージです。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • SM型:±12.5㎜(0.01㎜)
  • LM型:±12.5㎜(0.005㎜)
  • ICF34-FT導入ポート付(AMP-4は含まず)
  • モーター駆動にも対応可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
マイクロメーター部除く
仕様
型式XY軸移動距離(㎜)
XY軸移動精度(㎜)
Z軸移動距離(㎜)/Z軸移動精度A接続フランジ
B移動フランジ
C
(㎜)
D
(㎜)
E
(㎜)
重量
(Kg)
AMP-4/275/50SM±12.5
0.01
50/1ICF114-FH
ICF70-FT
235~28531911
AMP-4/275/100SM100/1240~34037412
AMP-4/275/150SM150/1245~39543013
AMP-4/275/200SM200/1250~45048414
AMP-4/275/50LMS±12.5
0.005
50/1235~28532511
AMP-4/275/100LMS100/1240~34038012
AMP-4/275/150LMS150/1245~39543513
AMP-4/275/200LMS200/1250~45049014
AMP-6/275/50SM±12.5
0.01
50/1ICF152-FH
ICF70-FT
235~285319ICF34-FT×412
AMP-6/275/100SM100/1240~34037413
AMP-6/275/150SM150/1245~39543013
AMP-6/275/200SM200/1250~45048414
AMP-6/275/50LMS±12.5
0.005
50/1235~285325 12
AMP-6/275/100LMS100/1240~34038013
AMP-6/275/150LMS150/1245~39543514
AMP-6/275/200LMS200/1250~45049015
AMP-8/275/50SM±12.5
0.01
50/1ICF203-FH
ICF70-FT
235~285319ICF34-FT×513
AMP-8/275/100SM100/1240~34037414
AMP-8/275/150SM150/1245~39543015
AMP-8/275/200SM200/1250~45048416
AMP-8/275/50LMS±12.5
0.005
50/1235~285325 13
AMP-8/275/100LMS100/1240~34038014
AMP-8/275/150LMS150/1245~39543515
AMP-8/275/200LMS200/1250~45049016

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