リークバルブ/エアリークバルブ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはフッ素ゴム（バイトン）を使用しています。（951-7177・7178）
真空シールにはフッ素ゴム（バイトン）“O”リングを使用しています。（951-7190・7192）
高真空、超高真空装置をリークさせる際の大気または特定ガス導入用バルブとして適しています。
特長
- 超高真空領域用
10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能 - 優れた許容加熱性
125℃までのベークアウト可能 - 特定ガス導入可能（“O”リングシールタイプは除く）
仕様
| 型名 | 951-7177/951-7178 | 951-7190/951-7192 |
| 使用真空領域 | 大気圧～10-7Pa程度 | 大気圧～10-7Pa程度 |
| バルブ全閉時リーク量 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下*1 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下*1 |
| オリフィス径 | φ3.5mm | φ10mm |
| 許容加熱温度*2 | 125℃※2 | 125℃※2 |
| 主要部材質 | 真空シール材：フッ素ゴム(バイトン) 軸シール材：フッ素ゴム(バイトン)“O”リング 軸シール潤滑材：高真空用シリコーングリース バルブボディ軸：SUS304 弁体：黄銅（Niメッキ） ハンドル：フェノール樹脂 | 真空シール材：フッ素ゴム （バイトン）“O”リング バルブボディ：SUS304 弁体：SS34（Niメッキ） |
| 接続フランジ | φ70ICF、NW25フランジ | φ70ICF、NW25フランジ |
| 質量 | 0.4kg | 0.5kg |
*1）フッ素ゴム（バイトン）のガス透過は仕様外。
*2）ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。