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製品紹介

インレットバルブ 951-7179/7180

製品情報

概要

真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用しています。
高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。

特長
  • 超高真空領域用
    10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能
  • 大気混入なし
    軸シールにベローズを使用していますので、ガス導入時大気の混入する心配がありません
  • 優れた許容加熱性
    150℃までのベークアウトが可能
仕様
型名951-7179、951-7180
使用真空領域大気圧~10-7Pa程度
バルブ全閉時リーク量6.7×10-11Pa・m3/sec以下*1
オリフィス径φ8.5mm
許容加熱温度*2バルブ開時150℃、バルブ閉時125℃
主要部材質真空シール材:ふっ素ゴム(バイトン)*3
バルブボディ:SUS304
ベローズ:SUS304
Lハンドル:フェノール樹脂
接続フランジφ70ICF、NW25フランジ
接続フランジφ70ICF、NW25フランジ
質量0.5kg

*1)フッ素ゴム(バイトン)のガス透過は仕様外。
*2)ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。
*3)メインシールおよびボンネットシール部。

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