インレットバルブ 951-7179/7180
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム（バイトン）を使用しています。
高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。
特長
- 超高真空領域用
10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能 - 大気混入なし
軸シールにベローズを使用していますので、ガス導入時大気の混入する心配がありません - 優れた許容加熱性
150℃までのベークアウトが可能
仕様
| 型名 | 951-7179、951-7180 |
| 使用真空領域 | 大気圧～10-7Pa程度 |
| バルブ全閉時リーク量 | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下*1 |
| オリフィス径 | φ8.5mm |
| 許容加熱温度*2 | バルブ開時150℃、バルブ閉時125℃ |
| 主要部材質 | 真空シール材：ふっ素ゴム（バイトン）*3 バルブボディ：SUS304 ベローズ：SUS304 Lハンドル：フェノール樹脂 接続フランジφ70ICF、NW25フランジ |
| 接続フランジ | φ70ICF、NW25フランジ |
| 質量 | 0.5kg |
*1）フッ素ゴム（バイトン）のガス透過は仕様外。
*2）ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。
*3）メインシールおよびボンネットシール部。